KMLabs極紫外超快光源XUUS主要參數(shù)

來自堅固耐用的工程 EUV 系統(tǒng)的
好消息：您不再需要將實(shí)驗室資源用于構(gòu)建高諧波發(fā)生 （HHG） 系統(tǒng)。第五代KMLabs的XUUS™極紫外超快源是一個交鑰匙系統(tǒng)，可讓您直接進(jìn)入實(shí)驗。XUUS 5是一種基于高諧波產(chǎn)生的相干EUV/軟X射線光源。它是一個工程化和集成的商業(yè)來源，基于一個*的光機(jī)械平臺。

HHG如何運(yùn)作？通過單擊此處了解HHG的物理原理。

XUUS 5將超快激光脈沖上變頻到光譜的紫外（EUV 或 XUV）或軟 X 射線區(qū)域。采用HHG工藝，輸出光束繼承了驅(qū)動激光器（如KMLabs RAEA）的相干特性，其波長可在~10至50 nm范圍內(nèi)調(diào)諧。此外，定制系統(tǒng)可以產(chǎn)生波長短至6nm的相干光束。XUUS 5采用KMLabs獲得的空心波導(dǎo)，用于高諧波上變頻過程。

XUUS空心光纖或波導(dǎo)架構(gòu)使系統(tǒng)產(chǎn)生的諧波與其他HHG方法區(qū)分開來，保證您的諧波每次都來自空間中的同一點(diǎn)，從而限度地減少任何指向漂移。此架構(gòu)可優(yōu)化實(shí)驗的可重復(fù)性。此外，使用光纖（而不是典型的氣體射流或半無限氣室目標(biāo)幾何形狀）為相位匹配的HHG提供了出色的壓力可調(diào)性?，F(xiàn)在，您可以在不犧牲靈活性的情況下選擇穩(wěn)健性。

XUUS極紫外超快光源是基于高次諧波的相干EUV/軟X射線源，這是一套工程化和商業(yè)化的集成系統(tǒng)。這套系統(tǒng)使用了KMLabs的的空心波導(dǎo)技術(shù)來產(chǎn)生高次諧波，輸出光束是相干和類激光的。關(guān)于高次諧波（HHG）的產(chǎn)生，更多信息，請點(diǎn)擊“高次諧波產(chǎn)生”。KMLabs使用的空心波導(dǎo)技術(shù)，在波導(dǎo)中可以實(shí)現(xiàn)高次諧波的轉(zhuǎn)換，使用最少的氣體，獲得的穩(wěn)定性。對于的應(yīng)用，EUV通量可能超過> 5×10 12 ph / sec

KMLabs極紫外超快光源XUUS應(yīng)用：

• 光發(fā)射：TR-ARPES和阿托秒材料科學(xué)
• 納米電的計量和支持EUV光刻
• 高分辨率和時間分辨無透鏡納米成像
• 超快磁性材料和自旋電子學(xué)研究
• 磁性、材料、分子和納米系統(tǒng)動力學(xué)的高時空分辨率泵探針研究
• 分子動力學(xué)和化學(xué)

具有顯著優(yōu)勢的功能：

• 獲得的空心波導(dǎo)高諧波轉(zhuǎn)換，可實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)換、穩(wěn)定性、可重復(fù)性和魯棒性。
• EUV 通量可超過 > 1×10¹²ph/sec 適用于要求的應(yīng)用。
• 超穩(wěn)定、4軸主動穩(wěn)定光束，產(chǎn)生與可見紅外激光器相當(dāng)?shù)腅UV光束強(qiáng)度和波前穩(wěn)定性。
• 高平均功率處理能力推動下一代實(shí)驗。
• 用于性能監(jiān)控和對準(zhǔn)控制的診斷攝像機(jī)。
• 圖形化、直觀的軟件控制。
• 穩(wěn)定的工業(yè)光學(xué)安裝在溫度穩(wěn)定的平臺上。
• 不斷增長的特定應(yīng)用光束線系列，為您的實(shí)驗量身定制光子。
• 高相干性，激光樣EUV（XUV）/ SXR。
• XUUS 系統(tǒng)配置可生成波長約為 6 nm 的軟 X 射線。
• 波導(dǎo)設(shè)計允許以最少的氣體使用量有效利用高壓氣體：比氣體噴射幾何形狀少1000倍，效率提高1000倍。
• XUUS輸出可以針對不同的應(yīng)用進(jìn)行優(yōu)化：ARPES，成像，瞬態(tài)吸收，MOKE，XMCD。

KMLabs極紫外超快光源XUUS特色應(yīng)用：

KMLabs 的 XUUS 源可實(shí)現(xiàn)個亞波長 EUV 13.5 nm 成像

寬視場反射模式點(diǎn)陣成像顯微鏡，帶臺式 12.7 nm 高諧波照明