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Acton紫外—— VUV/UV限波濾光片

Acton紫外—— VUV/UV限波濾光片產(chǎn)品詳情

Acton紫外—— VUV/UV限波濾光片

多層反射濾光片是全介質(zhì)反射鏡，在特定的VUV通過UV波長提供高反射率，同時發(fā)射較長波長的紫外到紅外光。濾波器是為45度AOI設(shè)計的。

定制的峰值波長>250 nm的紫外濾光片可與DUV-VUV透過率低于~210 nm。

VUV/UV反射濾光片- Acton標(biāo)準(zhǔn)濾光片為45°AOI。

Wavelength	Peak Reflectance	1.0” Part Numbers	1.5” Part Numbers	2.0” Part Numbers
126nm	≥ 40%	M126-3045-1D	M126-3045-1.5D	M126-3045-2D
146nm	≥ 45%	M146-3045-1D	M146-3045-1.5D	M146-3045-2D
157nm	≥ 82%	M157-3045-1D	M157-3045-1.5D	M157-3045-2D
172nm	≥ 82%	M172-3045-1D	M172-3045-1.5D	M172-3045-2D
185nm	≥ 82%	M185-3045-1D	M185-3045-1.5D	M185-3045-2D
193nm	≥ 82%	M193-3045-1D	M193-3045-1.5D	M193-3045-2D
200nm	≥ 90%	M200-3045-1D	M200-3045-1.5D	M200-3045-2D
208nm	≥ 90%	M208-3045-1D	M208-3045-1.5D	M208-3045-2D
212nm	≥ 90%	M212-3045-1D	M212-3045-1.5D	M212-3045-2D
220nm	≥ 90%	M220-3045-1D	M220-3045-1.5D	M220-3045-2D
240nm	≥ 90%	M240-3045-1D	M240-3045-1.5D	M240-3045-2D
248nm	≥ 90%	M248-3045-1D	M248-3045-1.5D	M248-3045-2D
254nm	≥ 90%	M254-3045-1D	M254-3045-1.5D	M254-3045-2D
260nm	≥ 90%	M260-3045-1D	M260-3045-1.5D	M260-3045-2D
266nm	≥ 90%	M266-3045-1D	M266-3045-1.5D	M266-3045-2D
280nm	≥ 90%	M280-3045-1D	M280-3045-1.5D	M280-3045-2D
300nm	≥ 90%	M300-3045-1D	M300-3045-1.5D	M300-3045-2D
320nm	≥ 90%	M320-3045-1D	M320-3045-1.5D	M320-3045-2D
340nm	≥ 90%	M340-3045-1D	M340-3045-1.5D	M340-3045-2D
352nm	≥ 90%	M352-3045-1D	M352-3045-1.5D	M352-3045-2D
360nm	≥ 90%	M360-3045-1D	M360-3045-1.5D	M360-3045-2D

注意: 在175nm以下的過濾器襯底材料是CaF2和在175nm以上的熔融石英Fused Silica

光譜曲線

Acton紫外—— VUV/UV限波濾光片插圖

注意：典型樣品的涂層性能曲線顯示。具體設(shè)計曲線，包括反射率和透過率可根據(jù)要求設(shè)計。

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn) 過濾器

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