靈活的探測，4步工作流程，gao級的分析性能

將分析性能與場發(fā)射掃描技術(shù)相結(jié)合，利用成熟的 Gemini 電子光學(xué)元件。多種探測器可選：用于顆粒、表面或者納米結(jié)構(gòu)成像。Sigma 半自動的4步工作流程節(jié)省大量的時間：設(shè)置成像與分析步驟，提高效率。

Sigma 300 性價比高。Sigma 500 裝配有背散射幾何探測器，可快速方便地實現(xiàn)基礎(chǔ)分析。任何時間，任何樣品均可獲得精準(zhǔn)可重復(fù)的分析結(jié)果。

靈活的檢測器選項，獲取清晰圖像

使用新穎的ETSE和Inlens探測器在高真空下獲取高分辨率表面形貌信息。

使用VPSE或C2D檢測器在可變壓力模式下獲得清晰圖像。

使用aSTEM檢測器生成高分辨率透射圖像。

使用HDBSD或YAG檢測器分析成分。

用戶友好,操作簡單

SmartSEM Touch是現(xiàn)已有操作系統(tǒng)的附加組件，用于多用戶環(huán)境，是一種簡潔的用戶界面。
它同時為操作經(jīng)驗豐富的專家用戶和初級用戶提供了簡便的操作。
基于實際的實驗室環(huán)境，SEM的操作可能是電子顯微鏡專家的專屬領(lǐng)域。
但是，非專業(yè)用戶（例如學(xué)生，接受培訓(xùn)不久的人員或質(zhì)量工程師）也需要使用SEM獲取數(shù)據(jù)，因此也有使用SEM的需求。 Sigma 300和Sigma300 VP將非專業(yè)用戶的需求考慮在內(nèi)，其用戶界面選項可滿足操作經(jīng)驗豐富的顯微鏡專家和顯微鏡新手用戶的操作需求。

特點：

用于清晰成像的靈活探測

• 利用探測術(shù)為您的需求定制 Sigma，表征所有樣品。

• 利用 in-lens 雙探測器獲取形貌和成份信息。

• 利用新一代的二次探測器，獲取高達(dá)50%的信號圖像。在可變壓力模式下利用 Sigma 創(chuàng)新的 C2D 和 可變壓力探測器，在低真空環(huán)境下獲取高達(dá)85%對比度的銳利的圖像。

自動化加速工作流程

• 4步工作流程讓您控制 Sigma 的所有功能。在多用戶環(huán)境中，從快速成像和節(jié)省培訓(xùn)首先，先對樣品進(jìn)行導(dǎo)航，然后設(shè)置成像條件。

• 首先，先對樣品進(jìn)行導(dǎo)航，然后設(shè)置成像條件。

• 接下來對樣品感興趣的區(qū)域進(jìn)行優(yōu)化并自動采集圖像。zui后使用工作流程的zui后一步，將結(jié)果可視化。

分析型顯微鏡

• 將掃描電子顯微鏡與基本分析相結(jié)合：Sigma 的背散射幾何探測器大大提升了分析性能，特別是對電子束敏感的樣品。

• 在一半的檢測束流和兩倍的速度條件下獲取分析數(shù)據(jù)。

• 獲益于8.5 mm 短的分析工作距離和35°夾角，獲取完整且無陰影的分析結(jié)果。

Gemini光學(xué)元件

基于成熟的 Gemini 技術(shù)

• Gemini 鏡頭的設(shè)計結(jié)合考慮了電場與磁場對光學(xué)性能的影響，并將場對樣品的影響降至更低。這使得即使對磁性樣品成像也能獲得出色的效果。

• Gemini in-lens 的探測確保了信號探測的效率，通過二次檢測(SE)和背散射(BSE)元件同時減少成像時間。

• Gemini 電子束加速器技術(shù)確保了小的探測器尺寸和高的信噪比。

用于清晰成像的靈活探測

• 利用新的探測技術(shù)表征所有的樣品。

• 在高真空模式下利用創(chuàng)新的 ETSE 和in-lens 探測器獲取形貌和高分辨率的信息。

• 在可變壓力模式下利用可變壓力二次電子和 C2D 探測器獲取銳利的圖像。

• 利用 aSTEM 探測器生成高分率透射圖像。

• 利用 BSD4 或者 YAG 探測器進(jìn)行成份分析。

配件：

SmartEDX

為您帶來一體化能譜分析解決方案

如果單采用SEM成像技術(shù)無法全面了解部件或樣品，研究人員就需要在SEM中采用能譜儀（EDS）來進(jìn)行顯微分析。通過針對低電壓應(yīng)用而優(yōu)化的能譜解決方案，您可以獲得元素化學(xué)成分的空間分布信息。得益于：

• 優(yōu)化了常規(guī)的顯微分析應(yīng)用，并且由于氮化硅窗口的透過率，可以探測輕元素的低能X射線。

• 工作流程引導(dǎo)的圖形用戶界面極大地改善了易用性，以及多用戶環(huán)境中的重復(fù)性。

• 完整的服務(wù)和系統(tǒng)支持，由蔡司工程師為您的安裝、預(yù)防性維護(hù)及保修提供一站式服務(wù)。

拉曼成像與掃描電鏡聯(lián)用系統(tǒng)

集成化的拉曼成像

在您的數(shù)據(jù)中加入拉曼光譜及成像結(jié)果，獲得材料更豐富的表征信息。通過擴展蔡司Sigma300，使其具備共聚焦拉曼成像功能，您能夠獲得樣品中的化學(xué)指紋信息，從而指認(rèn)其成分。

• 識別分子和晶體結(jié)構(gòu)信息

• 可進(jìn)行3D分析，在需要時可關(guān)聯(lián)SEM圖像、拉曼面掃描成像和EDS數(shù)據(jù)。

• 集成RISE讓您體驗由的SEM和拉曼系統(tǒng)帶來的優(yōu)勢。

可視化及分析軟件

蔡司Atlas 5-挑戰(zhàn)多尺度分析

Atlas 5可以簡化您的工作：以樣本為中心的關(guān)聯(lián)環(huán)境下為您創(chuàng)建多尺度、多模式的綜合圖片。Atlas 5集*的硬件和易于操作的軟件為一體，大大拓展了蔡司掃描電鏡（SEM）的應(yīng)用范圍。

可視化及分析軟件

蔡司推薦您使用Object Research Systems (ORS) 的 Dragonfly Pro

此解決方案可為X射線，F(xiàn)IB-SEM，SEM以及氦離子顯微鏡獲取的三維數(shù)據(jù)進(jìn)行可視化三維重構(gòu)和分析。

基于Visual SI Advanced系列, Dragonfly Pro 能提供高清解析度可視化技術(shù)和優(yōu)異的圖形處理技術(shù)。DragonflyPro支持通過簡單易用的Python腳本進(jìn)行定制。用戶可以掌控3D數(shù)據(jù)后期處理環(huán)境和流程