將X射線和CT結(jié)合

XslicerSMX-6000是島津公司采用自制的微焦點(diǎn)X射線發(fā)生器和高靈敏度平板接收器的一款帶有CT功能的X射線透視系統(tǒng)。

順暢的切換將透視觀察和斷面觀察快速連接在一起，全新的CT處理引擎能夠進(jìn)行全自動(dòng)校準(zhǔn)、高速拍攝以及重構(gòu)。

高放大倍數(shù)、高分辨率的圖像不會(huì)變形，從而可以觀察電子元器件等平板狀樣品內(nèi)部的細(xì)微構(gòu)造和缺陷。

Easy  operation　直觀的操作

通過大型顯示器以及簡(jiǎn)單的按鍵設(shè)置可以實(shí)現(xiàn)視認(rèn)性良好的直觀操作。即使對(duì)于初次使用者，也可以輕松地進(jìn)行X射線檢查。

使用大型顯示器
本品采用了27英寸大型顯示器。通過簡(jiǎn)單的按鍵設(shè)置以及高清晰度的大型檢出器，可在視認(rèn)性良好的狀態(tài)下對(duì)樣品進(jìn)行仔細(xì)的觀察。

用X射線圖像定位
只需點(diǎn)擊X射線圖像上的任意一點(diǎn)，就可以對(duì)載物臺(tái)進(jìn)行全行程的移動(dòng)控制。包括 XY·傾斜·旋轉(zhuǎn)以及變更視野大小等。

使用外觀圖像定位
本品使用了拍攝外觀圖像的專用相機(jī)，能夠?qū)φ麄€(gè)載物臺(tái)進(jìn)行攝影。只需在外觀圖像點(diǎn)擊的希望檢查的位置，即可對(duì)載物臺(tái)進(jìn)行定位。當(dāng)然，操作人員也可以通過對(duì)外觀圖像進(jìn)行放大或縮小，來實(shí)現(xiàn)部件級(jí)別的詳細(xì)定位。這樣，操作者的視線無需離開顯視器便可連續(xù)進(jìn)行操作。

Easy  operation  操作簡(jiǎn)便

從放入樣品起只需3步即可開始X射線透視拍攝。

STEP1更換樣品

按下更換樣品按鈕

●停止發(fā)射X射線
●解除正門的電磁鎖
●載物臺(tái)會(huì)自動(dòng)移動(dòng)到便于更換樣品的位置

STEP2開始檢查

關(guān)閉正門，按下開始按鈕。

● 發(fā)射X射線
● 拍攝整個(gè)載物臺(tái)的外觀圖像

STEP3定位

在拍攝的外觀圖像上確定大致的觀察位置并點(diǎn)擊該位置點(diǎn)，再在X射線透視圖像上點(diǎn)擊鼠標(biāo)，精確確定觀察位置。

由于采用了新的UI（用戶界面），全部的移動(dòng)操作可通過點(diǎn)擊或拖拽X射線圖像來實(shí)現(xiàn)。這樣操作者的視線無需離開監(jiān)視器便可快速進(jìn)行移動(dòng)的操作。

<中心位置移動(dòng) >
若鼠標(biāo)點(diǎn)擊X射線圖像的顯示區(qū)域，則移動(dòng)前圖像上被點(diǎn)擊的位置就成為當(dāng)前顯示區(qū)域的中心。

<放大>
若在X射線圖像顯示區(qū)域內(nèi)，從左往右拖拽鼠標(biāo)，則拖拽的范圍會(huì)放大到全屏顯示。

<縮小>
若在X射線圖像顯示區(qū)域內(nèi)，從右往左拖拽鼠標(biāo)，則畫面會(huì)按照一定的倍率縮小。

Easy  CT  imaging    輕松的CT拍攝

對(duì)于透視圖像上不易識(shí)別、具有復(fù)雜的立體構(gòu)造的樣品可分為不同層面進(jìn)行斷面觀察。

CT的原理

當(dāng)平板檢出器傾斜時(shí)，載物臺(tái)一邊進(jìn)行360度旋轉(zhuǎn)，檢出器一邊采集X射線透視圖像，利用采集的透視圖像進(jìn)行重建演算，形成截面圖像。如果只使用X射線透視進(jìn)行觀察，由于在射線方向的信息會(huì)疊加，導(dǎo)致無法分辨雙面實(shí)裝基板的正反面；但如果使用X射線CT，就可以細(xì)致地觀察每一個(gè)層面。

進(jìn)行X射線透視時(shí)，射線方向（一般為樣品厚度方向）上的信息會(huì)重疊，如果樣品為雙面實(shí)裝基板，則無法分辨觀察點(diǎn)處于基板的哪一面，但如果使用X射線CT模式檢測(cè)，就可以對(duì)每個(gè)層面單獨(dú)進(jìn)行觀察。

Smooth  Switching  順暢切換

只需選擇菜單圖標(biāo)便可輕松實(shí)現(xiàn)X射線透視與CT拍攝之間的切換。CT拍攝的條件設(shè)置十分簡(jiǎn)單，只需選擇拍攝模式、拍攝角度、拍攝視野即可完成。在透視檢查中希望觀察的點(diǎn)可立刻順暢切換至CT觀察模式。

High  Speed  Scan &  Reconstruction高速拍攝＆高速重建

設(shè)備采用新型CT處理引擎「XslicerEngine」，過去的CT拍攝開始前必須的校正作業(yè)現(xiàn)在自動(dòng)化，真正實(shí)現(xiàn)了高速拍攝。從CT拍攝到顯示截面圖像可在3分鐘內(nèi)完成。（※簡(jiǎn)易模式下）
另外，「XslicerEngine」大幅提升了重建的演算速度，數(shù)據(jù)采集結(jié)束后僅需5秒便可顯示出截面圖像。

可選軟件

Image-Pro Analyzer

是功能*的2維圖像處理軟件。

VGStudio三維圖像處理軟件P/N:S362-99202-01

將使用X射線CT拍攝的截面圖像，通過Volume lettering（VR）以三維形式顯示的軟件。具備基本的動(dòng)畫制作和簡(jiǎn)單的測(cè)量功能。

輔助檢查的各項(xiàng)功能

 步進(jìn)（STEP）移動(dòng)功能

STEP步進(jìn)移動(dòng)功能特別適于檢查平板型以及按照方格狀排列的樣品。設(shè)置好步進(jìn)參數(shù)、反復(fù)次數(shù)和縱向及橫向的移動(dòng)方向后，載物臺(tái)便會(huì)進(jìn)行等距離順次移動(dòng)。

教學(xué)（Teaching）功能

只要事先登錄好檢查點(diǎn)，就可以高效率的對(duì)同一種樣品進(jìn)行相同要求的檢測(cè)。

簡(jiǎn)單明了的檢查結(jié)果

可以用一覽圖的形式顯示檢查結(jié)果。對(duì)于確認(rèn)缺陷點(diǎn)非常方便。

 預(yù)設(shè)功能

簡(jiǎn)單登錄觀察位置和觀察條件。只需點(diǎn)擊登錄編號(hào)即可使用已登錄的拍攝條件進(jìn)行檢查。

自動(dòng)畫質(zhì)調(diào)整功能

系統(tǒng)可對(duì)各個(gè)畫面設(shè)定最合適的觀察條件。

全景圖像

只需從外觀圖像上指定拍攝范圍，即可輕松得到最合適的全景立體圖像。

應(yīng)用案例：