的JSM-7610F的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過改進(jìn),實(shí)現(xiàn)了分辨率(15kV 0.8nm、1kV 1.0nm)的進(jìn)一步提升,以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng),能提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。
此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進(jìn)行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號(hào)等滿足各種需求的高擴(kuò)展性。主要特點(diǎn)如下:
◇ 半浸沒式物鏡
半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強(qiáng)磁場(chǎng),因而可以獲得超高分辨率。


◇ High Power Optics
High Power Optics 是的電子光學(xué)系統(tǒng),既實(shí)現(xiàn)了高倍率觀察又能進(jìn)行多種分析。

浸沒式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍,可以獲得10 倍于傳統(tǒng)肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍(FEG)的探針電流,光闌角控制鏡(ALC)在探針電流增大時(shí)也能保持小束斑,兩者組合起來能提供200 nA 以上的探針電流。*的High Power Optics 系統(tǒng),從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物鏡光闌而不需要改換。
浸沒式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍銃

浸沒式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍通過和低像差聚光鏡組合,可以有效地收集從電子槍內(nèi)發(fā)射的電子。
光闌角控制鏡(ACL)
光闌角控制鏡(ACL)配置在物鏡的上方,在整個(gè)探針電流范圍內(nèi)自動(dòng)優(yōu)化物鏡光闌的角度。因此,即使照射樣品的探針電流很大,與傳統(tǒng)方式相比,也能獲得很小的電子束斑。

即使探針電流很大,束斑直徑也很小

長(zhǎng)時(shí)間分析時(shí)穩(wěn)定度也很高

◇ 柔和電子束(GB:GENTLEBEAMTM)模式

GB 模式的效果
GB 模式在低電壓下提高分辨率
左圖一般模式,右圖GB模式


增強(qiáng)了的低加速電壓下的分辨率

◇ r-過濾器



◇ LABE檢測(cè)器(選配件)

利用LABE 檢測(cè)器獲取低角度背散射電子像


◇ 擴(kuò)展性
能譜儀(EDS)



波譜儀(WDS)

陰極熒光系統(tǒng)(CL)

| 二次電子像分辨率 | 0.8 nm(加速電壓 15 kV),1.0 nm(加速電壓 1 kV ) 分析時(shí) 3.0 nm (加速電壓 15 kV, WD 8 mm, 探針電流 5 nA ) | ||
| 倍率 | Direct magnification: x25 to 1,000,000(120 x 90 mm) Display magnification: x75 to 3,000,000(1,280 x 960 pixels) | ||
| 加速電壓 | 0.1 ~ 30 kV | ||
| 探針電流 | 數(shù) pA ~200 nA | ||
| 電子槍 | 浸沒式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 | ||
| 透鏡系統(tǒng) | 聚光鏡(CL)、 光闌角控制鏡(ACL)、 半浸沒式物鏡(OL) | ||
| 樣品臺(tái) | 全對(duì)中測(cè)角樣品臺(tái)、5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | ||
| 電子檢測(cè)器系列 | 高位檢測(cè)器、 r‐過濾器 內(nèi)置、 低位檢測(cè)器 | ||
| 自動(dòng)功能 | 自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消象散、自動(dòng)亮度/襯度調(diào)節(jié) | ||
| 圖像觀察用 液晶顯示器 | 屏幕尺寸 23英寸寬屏 分辨率 1,920 × 1,080像素 | ||
| 抽真空系統(tǒng) | 電子槍室/中間室 SIP 離子泵 樣品室 TMP 分子泵 | ||





































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