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小型PECVD系統(tǒng)

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  • 型號(hào)
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  • 所在地無錫市
  • 更新時(shí)間2025-08-10
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 所在地區(qū)無錫市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量45
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同類產(chǎn)品

江蘇前錦爐業(yè)設(shè)備有限公司是集工業(yè)窯爐、耐火材料、特種陶瓷為一體的綜合性企業(yè),固定資產(chǎn)5600萬,員工365人,其中專業(yè)工程師28人,內(nèi)設(shè)中國陶都窯爐研發(fā)中心及各種高溫實(shí)驗(yàn)室。

前錦爐業(yè)作為主要成員企業(yè)之一,年銷售成套窯爐300套以上,產(chǎn)值逾8000萬,是國內(nèi)規(guī)模生產(chǎn)窯爐的主要生產(chǎn)企業(yè)。公司電窯爐事業(yè)部:主要生產(chǎn)系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)電爐,高溫單(雙)通道推板窯,輥道窯、網(wǎng)帶爐、氣氛保護(hù)(窯)爐、升降爐、鐘罩爐、真空爐、臺(tái)車窯、箱式爐等工業(yè)窯爐,設(shè)備主要應(yīng)用于特種陶瓷,電子陶瓷,磁性材料,化工粉末,熒光粉,拋光粉,鋰電池材料,稀土材料,電子器件,長余輝發(fā)光粉,硬質(zhì)合金,陶瓷金屬化,石油催化劑,珠光云母,氧化鈦粉體,氧化鋯粉體或其它無機(jī)新材料等產(chǎn)品的燒結(jié)加熱之用。

公司將本著以技術(shù)為先導(dǎo),質(zhì)量為核心,品質(zhì)為服務(wù)的經(jīng)營理念,實(shí)現(xiàn)我們用戶*的經(jīng)營理念。歡迎各界賓朋前來做客與指導(dǎo)!我們堅(jiān)信會(huì)做得更好!

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型號(hào):PE1260S用途:小樣品的等離子化學(xué)氣相沉積,石墨烯沉積,半導(dǎo)體鍍膜等規(guī)格:爐管尺寸60*1150 mm特點(diǎn):觸摸屏集中一鍵控制,實(shí)驗(yàn)證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快,成膜質(zhì)量好,針孔較少,不易龜裂
小型PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

該型號(hào)PECVD為整體精簡款,綜合了國內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn),觸摸屏集中一鍵控制,實(shí)驗(yàn)證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快,成膜質(zhì)量好,針孔較少,不易龜裂。而且控制部分采用了自主研發(fā)的實(shí)驗(yàn)電爐AIO全自動(dòng)智能控制系統(tǒng),使得操作更加簡便,功能更加*。

主要特點(diǎn):

1. 管內(nèi)真空度自動(dòng)平衡——管內(nèi)真空度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),自動(dòng)平衡。PECVD工藝要求石英管內(nèi)真空度通常在0.1~100Pa之間,該型號(hào)PECVD的AIO控制系統(tǒng)會(huì)通過真空泵的自動(dòng)啟停來維持用戶設(shè)定的管內(nèi)真空度,使成膜效果達(dá)的均勻性。

2. AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個(gè)7英寸觸摸屏進(jìn)行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控,協(xié)調(diào)控制——成儀AIO控制系統(tǒng);

3. 射頻功率的定時(shí)控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開與關(guān)閉的時(shí)間,自動(dòng)運(yùn)行;

4. 爐膛移動(dòng)速度可調(diào)——根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求,用戶可設(shè)定爐膛左右移動(dòng)的速度可距離,在沉積結(jié)束后爐膛可自動(dòng)移開沉積區(qū),使樣品快速冷卻;

5. 整機(jī)結(jié)構(gòu)融為一體——整機(jī)長度只有1.5米,移動(dòng)方便,避免分散組裝的困擾。


 


加熱爐部分:
爐膛模式: 開啟式可移動(dòng)爐膛
顯示模式: 7英寸觸摸屏
極限溫度: 1200℃
工作溫度: ≤1150℃
升溫速率: 建議10℃/Min Max:30℃/Min
爐體移動(dòng): 有,速度可調(diào)
單溫區(qū)長度: 主溫區(qū)長度:200mm(可選配氣體預(yù)熱部分)
爐管規(guī)格: 60*1150 mm
控溫精度: ±1℃
密封方式: 快速法蘭密封
溫度曲線: 30段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)
預(yù)存曲線: 可預(yù)存15條溫度曲線
超溫報(bào)警: 有
過流保護(hù): 有
斷偶提示: 有
測(cè)溫元件: K型熱電偶
爐膛材料: 氧化鋁纖維
外形尺寸: 1500*600*1000MM
信號(hào)頻率: 13.56 MHz±0.005%
功率輸出范圍: 5W-300W
功率穩(wěn)定度: ±0.1%
整機(jī)效率: >=70%
功率因素: >=90%
冷卻方式: 強(qiáng)制風(fēng)冷
真空部分:
功率: 500W
抽氣速率: 2Ls
極限真空: 4X10-2Pa
氣路系統(tǒng):
1~3路質(zhì)量流量計(jì)可選(七星華創(chuàng)):
準(zhǔn)確度:±1.5%:
重復(fù)精度:±0.2%:
工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa:
整機(jī)系統(tǒng)特色:
正壓測(cè)量: -100Kpa---100Kpa
真空測(cè)量: 10-2Pa ~100Kpa(支持Ar測(cè)量)
正壓保護(hù): 支持
壓力恒定: 支持
智能氣路: 支持
氣路定時(shí): 支持
射頻工作時(shí)間設(shè)定: 支持
移動(dòng)速度調(diào)節(jié): 支持
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