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1、技術等級達到同類高水準。 2、設備所選用的機械、電氣、水路、氣路等元件是成熟、可靠的產品。設備技術，設計何理，操作簡單，易于維護和維修。 3、本設備采用視覺算法，保證定位及糾偏精度達到1um，可有效滿足晶圓劃片對高精度的需求。 4、機械結構和工作界面根據(jù)世界流行機器設計。 5、進口C3級滾珠絲桿及雷尼紹光柵尺閉環(huán)控制，可達到水平。 6、濟南大理石機身，變形。7、標配：8......

雙軸12英寸全自動晶圓劃片機（自動上下料）產品詳情

設備介紹

晶圓劃片機作為半導體芯片后道工序的核心設備之一，用于晶圓的劃片、分割或開槽等精細加工。

設備可用于加工邊長為310 mm的方形工作物（特殊可選配）。

本設備采用“對向式雙主軸結構以及雙X軸結構布局”，并且雙軸可同時加工使用，節(jié)省自動上料時間，提高了生產效率。

本設備可以選配自動上下料。

設備核心參數(shù)

X軸(切割軸)	切割范圍	≥350mm
X軸(切割軸)	工作臺直線度	0.002mm/305mm
Y(進給軸)	切割范圍	≥305mm
	分辨率	0.0001mm
	定位精度	0.001mm/5mm
	定位精度	0.003mm/305mm
	工作臺直線度	0.002mm/305mm
Z軸	有效行程	35mm
	進給最小分辨率	0.0001mm
	重復精度	0.001mm
	使用刀盤直徑	59mm(2時硬刀)
T軸(旋轉軸)	額定轉矩	20N.M
	轉速	120rpm
	分辨率	0.0001°
空氣主軸	轉數(shù)范圍	6000-60000rpm
空氣主軸	主軸功率	1.8KW(2.4KW可選)
其它參數(shù)	根據(jù)客戶需要訂制

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