概述

多晶硅尾氣主要成分的體積分數(shù)分別為，HCl 30%；H2 64.2%；SIHCl3 5.4%；其他0.2%。雜質.為及氯硅烷、氯硅烷十分活潑，遇水即生成及氧化硅，因此在分析檢測時氣體分析系統(tǒng)對水有嚴格要求。系統(tǒng)對設備材質、密封性能等也有嚴格要求。瑞恒公司采用變壓吸附工藝，一次性去除所有雜質，確保分析效果準確性。預處理單元中利用吸附劑吸附雜質組分的能力遠強于吸附氫氣能力，可以將混合氣體中的氫氣提純。本系統(tǒng)根據(jù)我國多晶硅生產(chǎn)線中高塵、高腐蝕的惡劣工況條件，設計的NKYF9500 型干法耐腐蝕取樣分析系統(tǒng)，已達到水平，特別適合我國國情。

我公司開發(fā)的實用新型干法耐腐蝕取樣探頭，能成功地承擔這一艱巨的取樣任務。成套分析裝置的關鍵部件（國內同類部件其可靠性、穩(wěn)定性及使用壽命尚有差距）全部采用（例分析儀傳感器、真空取樣泵、PLC、閥件等），其它能夠保證使用要求的由國內配套生產(chǎn)，此優(yōu)化配置方案確保了裝置的性能價格比，讓貴方以最少的投入獲得高質量、高性能的在線分析控制成套系 統(tǒng)。ST9500 型干法耐腐蝕取樣分析系統(tǒng)多晶硅尾氣過程氣體成份分析裝置分單點連續(xù)分析和多點巡回檢測分析，根據(jù)用戶要求進行設計，根據(jù)用戶的實際情況，合理設置分析周期間隔時間，既經(jīng)濟又能滿足生產(chǎn)工藝所需的安全參數(shù)。 
 
系統(tǒng)特點

◆免維護型耐腐取樣過濾探頭可在高酸、高粉塵條件下連續(xù)工作，不堵塞。
◆常壓耐算取樣管可在高溫條件下，承受過壓、耐酸等惡劣環(huán)境連續(xù)工作不損壞。
◆系統(tǒng)響應極快，分析準確，滯后小。
◆關鍵件全部采用優(yōu)選進口件，系統(tǒng)可靠性高
◆采用高溫取樣技術
◆專業(yè)防堵技術  

取樣監(jiān)測點