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儀表網(wǎng)>產(chǎn)品庫>測量/計(jì)量>電子測量>其它電子測量>TMC STACIS III - 主動壓電消振系統(tǒng)

TMC STACIS III - 主動壓電消振系統(tǒng)

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2025-08-16
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)上海
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量233
  • 人氣值3371
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概述- STACISIII是一種靈活的高級主動隔振系統(tǒng)。STACIS采用的慣性振動傳感器、的控制算法和的壓電致動器,通過連續(xù)測量地面活動,然后擴(kuò)展和收縮壓電致動器來過濾地面運(yùn)動,以實(shí)時消除振動。STACIS最初設(shè)計(jì)用于隔離半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻、計(jì)量和檢測設(shè)備,現(xiàn)已成為嘈雜環(huán)境(包括但不限于半導(dǎo)體工廠、失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施和材料研究中心)......
TMC STACIS III - 主動壓電消振系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

    STACIS III的優(yōu)勢-    


STACIS比空氣隔振器硬數(shù)百倍,沒有任何空氣隔振系統(tǒng)的局限性。它沒有“軟”懸架,與主動空氣系統(tǒng)不同,STACIS可以放置在帶有內(nèi)部主動空氣隔振系統(tǒng)的工具下方,使兩個系統(tǒng)都在狀態(tài)下運(yùn)行。

的串行設(shè)計(jì)和專有的高力壓電技術(shù) 
可實(shí)現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90%的主動隔振性能。

    性能    

使用VC-C(500μ英寸/秒,12.5μ米/秒RMS)的模擬振動來測試4500磅(2045千克)有效載荷


    規(guī)格    

性能規(guī)格

主動自由度

6

主動帶寬

0.6 Hz - 150 Hz

被動固有頻率

18 Hz垂直和水平

有效的主動共振頻率

0.5 Hz

1 Hz時的隔振

40% - 70%

≥2 Hz時的隔振

≥90%

10磅(4.5千克)步進(jìn)輸入后的穩(wěn)定時間(減少10:1)

0.3秒

內(nèi)部噪音

<0.1 nm RMSd>

每個隔振器的工作負(fù)載范圍

低承重能力:400 - 1100磅(182 - 500千克)
中等承重能力:900 - 2100磅(410 - 955千克)
高承重能力:1900 - 4500磅(864 - 2045千克)

剛度(1000磅/ 454千克質(zhì)量、中等承重能力隔振器)

40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)

從距離隔振器4英寸(102毫米)處發(fā)射的磁場

<0.02 μG broadband RMSd>


隔振器設(shè)計(jì)、尺寸、環(huán)境和效用要求

環(huán)境和安全

符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)

主動隔振元件

最小承重能力為3300磅(1500千克)的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號,其輸出高達(dá)800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷

被動隔振元件

單個硬質(zhì)各向同性彈性體(無需壓縮空氣源)

振動傳感器元件

向下的地震檢波器型慣性傳感器,用于測量隔振器下方的地面振動,并提供與振動運(yùn)動速度成正比的電壓

主動反饋控制回路

在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和衰減地面振動

隔振器尺寸(寬x深x高)

11.75 x 12.5 x 10.8英寸
300 x 320 x 275 mm

隔振器重量

75磅(34千克)

工作溫度

50° - 90° F
10° - 32° C

儲存溫度

-40° - 130° F
-40° - 55° C

濕度

80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C

系統(tǒng)電源要求

100、120、230、240 VAC
50/60 Hz AC;<600 W
符合CE標(biāo)準(zhǔn)

地面位移

<480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>

每個系統(tǒng)的隔振器數(shù)量

至少3個

可選附件

層壓不銹鋼平臺、框架、立管、調(diào)平裝置、抗震裝置、提升罩


DC-2020控制器規(guī)格

尺寸(寬x深x高)

19 x 8.5 x 1.75英寸
483 x 216 x 45 mm

重量

6.3磅(2.9千克)

處理器

150/75 MHz雙核

采樣率

10 kHz

模擬輸出

16個通道

模擬輸入

16個通道

狀態(tài)燈

單個LED

前面板端口

1個串行USB 2.0
1個串行Micro-USB
1個以太網(wǎng)RJ-45
2個BNC

后面板端口

1個串行USB 2.0
1個以太網(wǎng)RJ-45
1個RS-232 DB-9傳統(tǒng)串行,用于傳統(tǒng)的STACIS 2100隔振器

用戶界面

前面板液晶顯示屏
超級終端上的字符菜單
適用于Microsoft Windows的擴(kuò)展GUI
嵌入式以太網(wǎng)GUI


    應(yīng)用說明    

/products/stacis/stacisiii


    應(yīng)用照片    






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