主動(dòng)減震系統(tǒng)MAPS-008明立精機(jī)MEIRITZ

主動(dòng)減震系統(tǒng)MAPS-008明立精機(jī)MEIRITZ

空氣壓力控制式主動(dòng)減震系統(tǒng)

MAPS系列

MAPS-008,MAPS-016,MAPS-033,MAPS-065,MAPS-130,MAPS-240

空氣壓力控制式主動(dòng)減震系統(tǒng)MAPS系列特點(diǎn)：

小型也能應(yīng)對(duì)全自由度的振動(dòng)。MAPS系列的活性減振系統(tǒng)是將垂直用和水平用空氣壓力執(zhí)行器內(nèi)置在緊湊型結(jié)構(gòu)中的單元類型。通過(guò)使用4個(gè)單元，可以對(duì)所有自由度的振動(dòng)表現(xiàn)出好的減振性能、阻尼性能和位置定位性能。

被動(dòng)減振也能消除難以處理的頻帶振動(dòng)。在被動(dòng)減振中，固有振動(dòng)引起的共振往往是一個(gè)常見(jiàn)問(wèn)題，但通過(guò)激活化可以消除由固有振動(dòng)引起的共振。并且在這一頻段內(nèi)也能獲得出色的減振性能。例如，被動(dòng)減振不擅長(zhǎng)處理的2Hz附近的低頻振動(dòng)，相比被動(dòng)減振，可以減小到1/30～1/100以下。

在標(biāo)準(zhǔn)MAPS下，10噸以上的裝置可以進(jìn)行減震。由于裝置的大型化，使得裝置本身固有振動(dòng)數(shù)難以保持在較高水平，因此即使是以前幾乎不會(huì)成為問(wèn)題的低頻振動(dòng)也容易受到影響。這也是需要具有低頻振動(dòng)去除性能的主動(dòng)振動(dòng)控制系統(tǒng)的一個(gè)原因。

通過(guò)使用柔軟的彈性體來(lái)支撐，被動(dòng)減震裝置可以消除X-Y臺(tái)等帶有運(yùn)動(dòng)裝置的設(shè)備帶來(lái)的整體大幅晃動(dòng)，反而增加振動(dòng)。

在主動(dòng)減震中，通過(guò)反饋控制始終保持靜止?fàn)顟B(tài)，可以減小晃動(dòng)。此外，如果能夠預(yù)先將臺(tái)子的運(yùn)動(dòng)作為信號(hào)輸出，就可以通過(guò)前饋控制使產(chǎn)生的振動(dòng)最小，從而提供幾乎沒(méi)有晃動(dòng)的環(huán)境。

當(dāng)裝置大型化時(shí)，傾斜也會(huì)成為問(wèn)題。由于裝置本身較重，傾斜時(shí)會(huì)因自重而產(chǎn)生變形，從而對(duì)精度產(chǎn)生顯著影響。MAPS在進(jìn)行控制時(shí)也考慮了水平精度，因此可以抑制傾斜并保持精度。此外，MAPS也考慮了位置定位精度，能夠順利進(jìn)行如盤(pán)體或基板等的傳遞。

只需確保安裝MAPS的空間，即可獲得不受振動(dòng)影響的環(huán)境。MAPS系列的控制系統(tǒng)非常穩(wěn)定，不僅可以用于公司內(nèi)部設(shè)備，還可以放心用于銷售的產(chǎn)品。