
PlasCalc等離子體監(jiān)測控制儀,實(shí)現(xiàn)200nm-1100nm波段內(nèi)的等離子體測量,通過高級(jí)過程控制系統(tǒng)及精密數(shù)據(jù)存取算法,只需
特點(diǎn)
- 光學(xué)分辨率1.0nm(FWHM)
- 光譜范圍 200-1100nm
- 快速的建模及存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)方法
Recipe編輯器
Recipe編輯器有助于簡單快捷的配置、構(gòu)建及存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)方法。對一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測量、等離子體蝕刻監(jiān)測、表面潔度監(jiān)測、等離子體室控制及異常污染、排放監(jiān)測等,能夠快速簡單的構(gòu)建模塊過程控制。
多種工具用于等離子體診斷
隨PlasCalc配置的操作軟件,集成的程式編輯器能夠容易實(shí)現(xiàn)多種數(shù)學(xué)算法功能??蛇x的波長發(fā)生器(可以單獨(dú)購買)用于類型確認(rèn),而波長編輯器可以用于優(yōu)化信噪比。雙窗口界面用于顯示實(shí)際光譜及所有過程控制信息。
PlasCalc 配置說明
| 光譜范圍: | 200-1100 nm |
| 光學(xué)分辨率: | 1.0 nm (FWHM) |
| D/A 轉(zhuǎn)換: | 14 bit |
| 數(shù)字I/O: | 8 x TTL |
| 模擬輸出: | 4 x [0-10V] |
| 接口: | USB 1.1 |
| 功耗: | 12 VDC @ |
| 電源: | 90-240 VAC 50/60 Hz |
| 尺寸: | |
| 重量: | |




































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