Octiv Poly 2.0--Impedans射頻功率計

品牌：Impedans

型號：Octiv Poly 2.0

公司介紹：

Impedans是一家愛爾蘭的射頻和等離子處理智能傳感器服務(wù)商，主要提供用于射頻和等離子過程監(jiān)控的智能傳感平臺。其服務(wù)涵蓋多個領(lǐng)域，包括半導(dǎo)體、真空鍍膜、、硬盤和航空航天等。

Impedans的技術(shù)優(yōu)勢在于其***的測量方法和高精度的數(shù)據(jù)采集能力，這使得其在等離子體處理領(lǐng)域具有較高的市場競爭力。通過提供高質(zhì)量的傳感器和測量設(shè)備，Impedans在多個工業(yè)領(lǐng)域中贏得了良好的聲譽。

Octiv Poly 2.0--Impedans射頻功率計產(chǎn)品介紹：

Octiv Poly 2.0 VI探頭是一款多頻在線射頻電壓、電流和相位測量系統(tǒng)，支持網(wǎng)絡(luò)通信（可提供以太網(wǎng)Web服務(wù)協(xié)議、EtherNet/IP或EtherCAT）。該系統(tǒng)具有1%的準(zhǔn)確度，能夠可靠地實現(xiàn)腔室間匹配和過程重復(fù)性。其獨特便捷的外形設(shè)計，便于進行改造以匹配機箱輸出，從而方便直接進行等離子體監(jiān)測。借助這種***的VI探頭技術(shù)，可以消除產(chǎn)品報廢事件、端點檢測錯誤和不必要的預(yù)防性維護等問題。

主要特點

單個傳感器可選擇5個頻率，每個頻率下最多有15個諧波。

通過我們***的校準(zhǔn)方法，在50Ω和非50Ω負(fù)載阻抗中具有***的功率精度（1%的真實精度）。

傳感器運行重復(fù)性（<>

實時史密斯圓圖視圖，阻抗精度與離線矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀相當(dāng)。

頻率跟蹤標(biāo)準(zhǔn)為基頻的±10%，可定制用于互調(diào)頻率監(jiān)測。

***的脈沖射頻能力，具有實時脈沖頻率和占空比監(jiān)測以及“時間分辨”模式。

USB、以太網(wǎng)、EtherCAT和串行通信協(xié)議，具有易于使用的API進行集成。

主要優(yōu)勢和應(yīng)用

使用等離子體阻抗監(jiān)測（PIM）和諧波譜技術(shù)清潔和蝕刻端點功能。

證明了對<>

檢測晶圓放置問題、漏氣、跨工藝污染和許多其他常見的等離子體故障。

測量整個腔室的健康狀況，無需進行不必要的預(yù)防性維護。

通過實現(xiàn)故障檢測和早期干預(yù)，成本效益***。

相關(guān)型號：

Octiv Mono 2.0

Octiv Poly 2.0

Octiv Suite 2.0