基于獨?雙傳感器的創(chuàng)新設計,通過精確協(xié)同與優(yōu)化配置,確保每個傳感器都能在專屬領域內發(fā)揮出獨???的優(yōu)勢,促進了傳感器之間的互補性,給??帶來質的使?體驗。
傳感器切換?便,巧妙的機械結構設計,使得輪廓傳感器與粗糙度傳感器在互換時更加省時省?。
| 型號 | CER | |
| 測量范圍 | X軸 | 120-220mm |
| X軸分辨率 | 0.1μm | |
| Z軸 | 320-620mm | |
| 輪廓傳感器 | Z1軸量程 | 30-60mm |
| Z1分辨率 | 0.02μm | |
| 輪廓精度 | Z1線性精度 | <±(0.8+|0.05H|)μm |
| 圓弧 | 士(2+R/8)μm | |
| 圓弧Pt | / | |
| 角度 | ±2′ | |
| 直線度 | 0.5um/100mm (截止波長2.5) | |
| 粗糙度傳感器 | 量程 | ±420μm |
| 分辨率 | 65536:1 | |
| 粗糙度精度 | 指示精度 | ≤±(10nm +3.5%) |
| 殘值噪聲 | ≤0.010μm | |
| 重復性 | 1δ≤2nm | |
| 截止波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
| 評定長度 | λC×2、3、4、5、6、7 | |





































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