XD Laser™激光干涉儀簡介

XD Laser™激光干涉儀體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導(dǎo)軌上，XD Laser™激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器，干涉鏡和6D傳感器組成，從激光發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)維角反射棱鏡反射后返回干涉干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進行電子計數(shù)，記錄準(zhǔn)確的長度位置，**束光作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內(nèi)的橫向光電二極管測得，第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。

為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降到*小，從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性，測量儀配有自動氣壓，環(huán)境溫度補償器，自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響。測量儀還配有站們設(shè)計的多重數(shù)字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到*低。

XD Laser™激光干涉儀技術(shù)參數(shù)

5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：

1. 線性：0.5ppm .

2. 測量范圍：40米(1D可選80米)

3. 線性分辨力：0.001um.

4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值

5. *大范圍：800角秒

6. 滾動角精度：1.0角秒

7. 直線度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值

8. 直線度*大范圍：500um

9. 垂直度精度：1角秒

10. 溫度精度：0.2攝氏度

11.濕度精度：5%

12.壓力精度：1mmHg

主要特點：

1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角

2. 設(shè)計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器

3. 可選的無線遙控傳感器*長的控制距離可到25米

4. 可測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機床動態(tài)特性。

5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤，設(shè)計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架

6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時間

XD Laser™激光干涉儀工作流程圖

XD Laser™激光干涉儀細(xì)節(jié)圖

XD Laser™激光干涉儀界面圖