產(chǎn)品簡介
體管遷移率測試系統(tǒng)是評估半導體器件性能的核心工具,它通過精密測量載流子(電子/空穴)在電場作用下的遷移速率,直接反映材料的導電能力和器件的開關(guān)速度。該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于新材料研發(fā)、制備工藝優(yōu)化及產(chǎn)品質(zhì)量控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié),是推動高性能芯片技術(shù)進步和保障半導體產(chǎn)業(yè)良率基礎(chǔ)裝備。通過高效的自動化測試與數(shù)據(jù)分析,它為科研創(chuàng)新和大規(guī)模生產(chǎn)提供了至關(guān)重要的參數(shù)依據(jù)。
產(chǎn)品特點
□ 利用半導體參數(shù)分析儀進行遷移率測試;
□ 電流分辨率: 10 fA;
□ 電壓分辨率:100 nV;
□ 電壓范圍:-200 V 至 200 V;
□ 直流電流量程:-1 A 至 1 A;
□ SMU通道數(shù)量: 1-3可選;支持±3A脈沖電流;
□ 可以1.8MS/s的高速采集速率進行高精度測量;
□ 支持變溫遷移率測試系統(tǒng);
□ 支持顯微系統(tǒng)耦合;
□ 支持光場耦合。




































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