上海天端實業(yè)有限公司自主研制高低溫霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)系統(tǒng)由電磁鐵、電磁鐵電源、高精度恒流源、高精度電壓表、霍爾效應(yīng)樣品支架、標(biāo)準(zhǔn)樣品、高低溫杜瓦，控溫儀，系統(tǒng)軟件組成。

可用于測量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù)，實驗結(jié)果由軟件自動計算得到，可同時得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)等等。

霍爾效應(yīng)磁場發(fā)生系統(tǒng)

    · 磁場強度：1T@30mm

· 極柱直徑φ：100mm

· 極頭直徑φ：60mm

· 可調(diào)范圍：0 ～ 100mm

· 線圈內(nèi)阻：10.0Ω

· 磁場穩(wěn)定性：±0.3Gs（24h時間內(nèi)）

· 自重：180Kg

霍爾效應(yīng)磁場測試部分

· 量程：±0.1Gs ～ ±30kGs

· 分辨率：0.1Gs

· 精度：讀數(shù)的±0.3%±0.05%量程

· 測磁傳感器厚度為1.0mm，長度為100mm

· 人機交互：明亮的寬屏高清液晶屏， 4?位顯示，標(biāo)準(zhǔn)9針“D”型RS232連接器

· 自動化：完備的計算機指令，可通過數(shù)據(jù)通訊，實時在電腦界面監(jiān)測并控制測試樣品周圍的磁場環(huán)境溫度范圍：滿足-45度~125度，控溫精度±0.1度

霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)磁場控制直流電源

· 功率：1KW

· 精準(zhǔn)度：0.2%

· 輸出電流/電壓：±10A/100V

· 分辨率：0.1mA

· 額定負載：≥2Ω

· 室內(nèi)使用設(shè)計.溫度： 0℃～40℃；

· 濕度：10％～85％ RH

霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)樣品恒流源

· 電流輸出基本分辨力0.0001uA，電壓測量基本分辨力0.0001mV

· 輸出量程：50.00nA-50.00mA中間可以0.1nA步進連續(xù)可調(diào)

· 測量電壓：0～±3V大量程測試電壓滿足高阻芯片的測試

· 內(nèi)置自動變換的四相陣卡，可實現(xiàn)霍爾效應(yīng)范德堡法的自動測量

· 良好的人機交互界面，方便使用者進行手動調(diào)節(jié)

· 完備的上位機指令，可與電腦進行通訊完成各項操作

高低溫恒溫器

    · 液氮恒溫器溫度測試范圍：80K ～ 500K（測量速率達20次/秒）

· 測溫精度：全量程范圍內(nèi)為0.1K（PT100 鉑電阻）

· 測溫方法：四引線電阻法

· 真空度：關(guān)閉閥門后可保持腔體內(nèi)部小于0.1Pa

· 接插件：標(biāo)準(zhǔn)用DP14針插頭，其中四芯用于溫度傳感器，兩芯用于加熱器，剩余八芯測量線供使用者從恒溫器連接到測量儀表，可自行定義。

霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)控溫儀

      · 測控溫溫區(qū)：1.4 K--- 450 K（具體范圍需依據(jù)使用溫度計的型號而定）

· 控溫誤差：小于0.05%F.S ±1個字（可對溫漂、時漂進行自動補償）

· 分辨率：1/60000

· 加熱功率輸出：過零開斷的位式調(diào)節(jié)，0-- 24V， 2A濾波直流輸出

· 可提供兩路PID型溫度控制，輸出功率為100W

霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)上位機軟件

      · 可實現(xiàn)一鍵自動化測量，檢測開始后無需人員進行操作即可進行測量。

· 在軟件中進行設(shè)置可進行自動變溫測量。

· 軟件中可進行I-V曲線、B-V曲線以及測量的各個半導(dǎo)體參數(shù)對于溫度t的曲線圖

· 軟件內(nèi)進行的模塊化設(shè)計，方便客戶使用以及進行相關(guān)功能的開發(fā)5、實驗結(jié)果測量完成，數(shù)據(jù)將暫時保存在軟件中，如需要長期保存可將數(shù)據(jù)導(dǎo)出至EXCEL表格中，方便后期的數(shù)據(jù)處理

霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)其他配套裝置

     · 標(biāo)準(zhǔn)600mm*600mm*1000mm（長*寬*高）箱式機柜，內(nèi)置6芯插排，數(shù)量和功率均滿足各使用儀器電源的同時使用要求

· 標(biāo)準(zhǔn)接口用FX-8型號機械真空泵，速度可達：3L/S

· 恒溫器固定裝置，帶滑軌可實現(xiàn)恒溫器帶動樣片的移動。

· 磁場傳感器探頭固定裝置：全鋁非導(dǎo)體支架5-70mm可調(diào)

· 溫度測量與控制連接線固定裝置

· 制作樣品上歐姆接觸焊點的相應(yīng)工具：電烙鐵、銦片、焊錫、漆包線等