§ 產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

nanoCVD-WPG型大尺寸石墨烯CVD系統(tǒng)是英國(guó)MOORFIELD公司與英國(guó)曼徹斯特大學(xué)“諾貝爾獎(jiǎng)”石墨烯團(tuán)隊(duì)共同開(kāi)發(fā)的一款專(zhuān)門(mén)大尺寸生長(zhǎng)高質(zhì)量石墨烯的納米CVD系統(tǒng)，樣品尺寸可達(dá)4寸，該系統(tǒng)采用的“冷壁技術(shù)”及“等離子軟刻蝕技術(shù)”生長(zhǎng)石墨烯，具有生長(zhǎng)速度快，石墨烯質(zhì)量高，耗量少，無(wú)污染的優(yōu)點(diǎn)，是制備大尺寸高質(zhì)量二維材料石墨烯用戶(hù)的理想選擇。

§ 產(chǎn)品特性：

? 采用全自動(dòng)“冷壁”技術(shù)與獨(dú)特的加熱臺(tái)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)高效加熱和低反應(yīng)材料消耗，運(yùn)行費(fèi)用低，石墨烯質(zhì)量高。

?壓力：＜5×10^-7mbar

? 裝樣簡(jiǎn)單

? 樣片尺寸：3寸或4寸

? 等離子體源：150W/13.56MHz RF源

? 可在冷壁腔體中加等離子電極

? 加熱單元：低熱載，高加熱率，溫度1100℃，分辨率為1℃，熱電偶溫度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫度；，

? 三路氣體配帶流量控制，標(biāo)準(zhǔn)為Ar，H₂與CH₄；

? 內(nèi)置壓縮氣體風(fēng)扇高效冷卻散熱；

? 生產(chǎn)時(shí)間短：一次完整生長(zhǎng)流程時(shí)間小于30分鐘；

? 觸摸式液晶觸摸屏界面可自設(shè)和存儲(chǔ)多達(dá)30個(gè)生長(zhǎng)流程，生長(zhǎng)條件精確控制，可重復(fù)生成制備石墨烯；

? 聯(lián)機(jī)數(shù)據(jù)采集，生長(zhǎng)流程全自動(dòng)控制；

? 系統(tǒng)維護(hù)便捷方便，壓力、氣體流量和溫度參數(shù)連鎖確保使用安全。

§ 生長(zhǎng)體系：

? 基底：Cu, Ni, etc. (films or foils)

? 氣體：H₂, Ar, N₂, etc.

? 碳源原料：CH4, C2H4, solids (PMMA), etc.

§ 應(yīng)用：

? Graphene & 2D materials

? Electrodes for photovoltaics

? Touchscreen displays

? High-performance electronics

? Biological, chemical and mechanical sensors

? Electrical energy storage