NX20型原子力顯微鏡簡(jiǎn)介: NX20型原子力顯微鏡是韓國PARK原子力顯微鏡公司功能大的工業(yè)級(jí)大尺寸原子力顯微鏡,這是一款全自動(dòng)的原子力顯微鏡系統(tǒng),掃描范圍達(dá)300mm*300mm,掃描分辨率0.02nm,集成了PARK公司技術(shù)“非接觸式工作模式”“智能掃描模式”“基于壓電陶瓷堆積技術(shù)的平板掃描器”,并標(biāo)配快速掃描模式,變速掃描模式,多種測(cè)量模式可選,NX20型原子力顯微鏡被廣泛用于半導(dǎo)體,LCD,LED,OLED,硬盤等工業(yè)領(lǐng)域。 NX20型原子力顯微鏡技術(shù)特色: 1)采用非接觸式工作模式: PARK公司是目前一家真正實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量模式的原子力顯微鏡廠家,在不影響測(cè)量精度的前提下,可實(shí)現(xiàn)樣品與針尖的非接觸測(cè)量,避免了由于針尖磨損帶來測(cè)量重復(fù)性差與探針磨損快的缺點(diǎn)。 下圖是測(cè)量CrN樣品的實(shí)例,CrN樣品的硬度很高,具有三角形結(jié)構(gòu),采用非接觸模式測(cè)量100幅圖后,圖像質(zhì)量幾乎無變化,針尖幾乎無磨損?。?! 2)探測(cè)器噪聲水平為業(yè)界:0.02nm Z軸探測(cè)器是全新的NX系列原子力顯微鏡的核心技術(shù)改進(jìn)之一,它是Park的新型應(yīng)變傳感器,憑借著0.2埃的超低噪聲,它一躍成為行業(yè)內(nèi)噪聲的Z軸探測(cè)器,檢測(cè)原子臺(tái)階及其容易。 3)采用高性能平板掃描器:采用技術(shù)得三軸分離的平板掃描器,在整個(gè)80μm的掃描范圍內(nèi)誤差<1nm !!!! 4)操作極其簡(jiǎn)單: - 具有“智能掃描模式”Smart scan:這是PARK公司的技術(shù)之一,用戶只需要選擇掃描速度及掃描范圍,系統(tǒng)即可自動(dòng)調(diào)整反饋,無需尋找共振峰,無需調(diào)整反饋參數(shù)gain值 - 具有中文,英文等多種操作界面 - 憑借著我們的預(yù)準(zhǔn)直懸臂架,懸臂在裝載時(shí)激光便已完成聚焦。并且,自上而下的同軸視角(行業(yè)無二)讓您可以輕松地找到激光光點(diǎn)。由于激光垂直照射在懸臂上,您可以憑直覺旋動(dòng)兩個(gè)定位旋鈕,將激光光點(diǎn)隨著X軸和Y軸移動(dòng)。這樣,您可以在激光準(zhǔn)直界面中,輕易地找到激光并將其定位在PSPD上。此時(shí),您只需要稍作調(diào)整實(shí)現(xiàn)信號(hào)的,便可開始獲取數(shù)據(jù)。 5)具有廣泛的原子力顯微鏡模式: 6)工業(yè)級(jí)別的XEA軟件:具有自動(dòng)識(shí)別,自動(dòng)掃描,自動(dòng)分析功能,大大節(jié)約了人工操作的誤差及浪費(fèi)的時(shí)間。 7)導(dǎo)電原子力顯微鏡: Park導(dǎo)電原子力顯微鏡在市場(chǎng)中競(jìng)爭(zhēng)力,不但有著全行業(yè)的電流噪聲,且增益范圍也是,并且可實(shí)現(xiàn)電流快速掃描功能,是半導(dǎo)體測(cè)試電流的標(biāo)準(zhǔn)。 - 業(yè)內(nèi)的電流噪聲(50fA) - 業(yè)內(nèi)的電流(10mA) NX20型原子力顯微鏡主要技術(shù)參數(shù): - XY閉環(huán)掃描范圍大:達(dá)100μm*100μm - Z向閉環(huán)掃描范圍大:達(dá)15μm - 超高的測(cè)量分辨率:可達(dá)0.02nm - 全自動(dòng)掃描范圍:150mm*150mm(200mm*200mm,300mm*300mm) - 具有快速掃描功能:達(dá)50Hz NX20型原子力顯微鏡部分測(cè)試實(shí)例: PARK公司科研級(jí)原子力顯微鏡選型指南: - XE7型原子力顯微鏡:低預(yù)算客戶的理想選擇 - NX10型原子力顯微鏡:科研級(jí)客戶及工業(yè)檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室的 - NX-Hivac真空型原子力顯微鏡:高分辨及保障無氧無水環(huán)境 - NX12型生物型原子力顯微鏡:神經(jīng)學(xué),生物細(xì)胞檢測(cè)及藥物檢測(cè),單細(xì)胞通道客戶的理想選擇 - XE15型大樣品原子力顯微鏡:大尺寸樣品及工業(yè)檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室的 - NX20型大樣品原子力顯微鏡:大尺寸樣品,工業(yè)檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室及在線檢測(cè)的 工業(yè)級(jí)在線原子力顯微鏡歡迎來電詳細(xì)咨詢!











































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