日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性，結(jié)合眾多的自動化功能，可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察。

產(chǎn)品特征

SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察

（1）樣品臺可搭載超大/超重樣品

• 通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品

• 選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率

• 具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*

• 紅外CCD探測器，提高了樣品臺移動的安全性

（2）支持全視野移動。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察

• 與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)

• 覆蓋整個可觀察區(qū)域

• 支持360度旋轉(zhuǎn)

隨著各種自動化功能的強(qiáng)化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。

（1）一個鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI

（2）各種自動化功能

• 自動調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)

• 提高了自動聚焦精度

• 搭載Intelligent Filament Technology（IFT）

（3）Multi Zigzag，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察

（4）Report Creator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報告

可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案

（1）可滿足多種觀察需求的探測器

• 搭載高靈敏度UVD，支持CL觀察

• 高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像

（2）配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種配件

（3）SEM/EDS一體化功能

（4）三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*

（5）支持圖像測量軟件Image pro