Alfven 100--Impedans射頻異常打火檢測器

品牌：Impedans

型號：Alfven 100

精確的射頻等離子體異常打火檢測和全面的射頻脈沖監(jiān)控

公司介紹：

Impedans是一家愛爾蘭的射頻和等離子處理智能傳感器服務商，主要提供用于射頻和等離子過程監(jiān)控的智能傳感平臺。其服務涵蓋多個領域，包括半導體、真空鍍膜、醫(yī)療器械、硬盤和航空航天等。

Impedans的技術優(yōu)勢在于其先進的測量方法和高精度的數(shù)據(jù)采集能力，這使得其在等離子體處理領域具有較高的市場競爭力。通過提供高質(zhì)量的傳感器和測量設備，Impedans在多個工業(yè)領域中贏得了良好的聲譽。

Alfven 100--Impedans射頻異常打火檢測器產(chǎn)品介紹：

Alfven 100是一款先進的、集射頻等離子異常打火檢測和射頻脈沖監(jiān)控為一體的診斷儀器，它能夠以1微秒的分辨率實時處理射頻信號。

該儀器被設計用來檢測和表征射頻等離子體異常打火現(xiàn)象，同時可監(jiān)測每一個射頻脈沖信號，以檢查是否每個脈沖信號都符合設定值。

等離子體異常打火和失效脈沖可能導致晶圓缺陷，因此，Alfven 100是快速故障排除和7×24小時監(jiān)控的必要工具。

主要功能：

1μs采樣分辨率，同時監(jiān)測異常打火和脈沖信號(可調(diào)噪聲過濾)。

可配置異常打火類型和失效脈沖信號類型。

監(jiān)控每個脈沖的有效時間、脈沖頻率和占空比。

報告用戶設置的偏離限制的具體值。

“開關”和“高低”脈沖監(jiān)控（可多達三級）。

監(jiān)控脈沖期間可報告最大、最小和平均電壓電流值。

“快照”功能查看在給定時間內(nèi)的脈沖輪廓。

可設置配方，命令儀器自動調(diào)整設置，以同步監(jiān)測復雜多步的等離子體過程。

主要優(yōu)勢和應用：

可快速確定是否由打火或失效脈沖導致的晶圓缺陷的原因。

脈沖“快照”功能可替代定向耦合器-示波器。

監(jiān)控每個工藝步驟配方的平均脈沖頻率和占空比。

實時監(jiān)控每個工藝步驟的異常打火次數(shù)。

按要求進行微妙數(shù)據(jù)的實時報告。

軟件通訊中斷時儀器主板可暫時儲存數(shù)據(jù)。

可生成摘要報告，方便后續(xù)查看。