燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置

一．主要特點

1. 獨立燃燒方式，燃燒之火焰渦流：可燃性毒性氣體從低濃度至99%濃度均可用高溫處理；

2. SiH4與NF3、NO2同時燃燒：SiH4與NF3、NO2可以同時于燃燒室中一起 燃燒；

3. 基本功能之安全設(shè)計：異常情況發(fā)生時，診斷機能會自動安全處理；

4. 使用刮刀方式，粉塵處理容易：燃燒室內(nèi)部之附著粉塵，可使用獨立之刮刀容易且確實地清除；

5. H2、LPG、天然瓦斯(LPG)各種型式：燃料氣體可使用H2、LPG、天然瓦斯(LPG)3 種型式；

6. 保養(yǎng)簡單：保養(yǎng)可在極短的時間內(nèi)完成，費用也低廉；

7. 高信賴性：構(gòu)造簡單且零件數(shù)少，值得高度信賴。

二．燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置處理氣體種類

可處理氣體種類包括半導(dǎo)體、液晶以及太陽能等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中使用的特氣，主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。

三．燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置處理原理

1. 冷卻空氣之一部份在燃燒室內(nèi)形成火焰渦流，制程氣體會卷入燃燒；

2. Guardian之火焰渦流可將SiH4等氣體，破壞其氣泡產(chǎn)生；

3. 冷卻空氣在機臺內(nèi)部循環(huán)，燃燒室外部使用空氣冷卻。并可使排氣溫度冷卻下降，而且可將燃燒后之氧化物排出等多樣功能；

4. 熱電對之安全裝置，可監(jiān)視燃燒室溫度、排氣溫度、Process Gas導(dǎo)入管溫度。另外Photo sensor可監(jiān)視熄火，差壓計可檢視排氣風(fēng)量。