優(yōu)點(diǎn)

好處

理想?yún)⒖迹河捎诓捎梦锢韰⒖?/span>，因而沒(méi)有傳輸誤差

1. 省時(shí)：因?yàn)闊o(wú)需改變大量參考

2. 節(jié)省成本：因?yàn)闊o(wú)需購(gòu)買(mǎi)昂貴的參考裝置

比標(biāo)準(zhǔn)性能傳輸?shù)姆扑髑蛎娓缮鎯x有超過(guò)100倍更高的精度

節(jié)省時(shí)間和成本：因?yàn)椴恍枰虚g儀器和附加的方法來(lái)提高精度

D7型激光干涉儀比其它激光干涉儀可檢驗(yàn)更多的表面特征

由于在安裝和光學(xué)系統(tǒng)上市之前更好地揭示了制造誤差，從而節(jié)省了成本

穩(wěn)定性和堅(jiān)固性

1. 省時(shí)：因?yàn)榈闹貜?fù)性提供準(zhǔn)確的測(cè)試數(shù)據(jù)，無(wú)需反復(fù)地證明測(cè)試結(jié)果

2. 節(jié)省成本：因?yàn)?font face="Arial">D7型激光干涉儀不需要特殊的(工作)環(huán)境條件

應(yīng)用范圍寬

節(jié)省時(shí)間和成本：由于緊湊和簡(jiǎn)單的設(shè)置，可在實(shí)驗(yàn)室或工廠（現(xiàn)場(chǎng)）垂直和水平方向使用D7型激光干涉儀

沒(méi)有可追溯的誤差

由于在測(cè)量非球面和自由形體時(shí)簡(jiǎn)化的設(shè)置，從而節(jié)省時(shí)間和成本

性能

精度

≤0.6 nm (λ/1000)

RMS波前重復(fù)性

≤0.23 nm (λ/2800)

數(shù)據(jù)采集時(shí)間

10ms

光學(xué)

系統(tǒng)數(shù)值孔徑(NA)

0.6 (F數(shù) 0.83)

系統(tǒng)成像數(shù)值孔徑(NA)

0.55 (F數(shù) 0.91)

成像變焦系統(tǒng)

軟件界面控制4 x光學(xué)變焦

成像

具有偽影去除選項(xiàng)的相干（無(wú)散射玻璃）

CCD相機(jī)

0.5k × 0.5k (可選：1k x 1k, 2k x 2k or 5k x 5k，也可按照客戶要求)

高分辨率

λ/8000

像素深度（數(shù)字化）

12位

曝光時(shí)間

最少40μs

傳感器像素分辨

500×500，直徑≥50mm

聚焦控制

電動(dòng)及軟件界面控制

光學(xué)聚焦范圍

±2米

激光器

激光類型和波長(zhǎng)

穩(wěn)定的He-Ne激光器，波長(zhǎng)：632.8nm

激光功率

2mW（更高功率可根據(jù)用戶的要求提供）

偏振

可調(diào)節(jié)測(cè)試表面性質(zhì)

相干

≥100米

系統(tǒng)

數(shù)據(jù)采集

相移干涉測(cè)量（PSI）或靜態(tài)

PSI方法

PZT電子相移

準(zhǔn)直范圍

±2.5度

準(zhǔn)直類型

雙點(diǎn)

準(zhǔn)直十字線

計(jì)算機(jī)產(chǎn)生