
產(chǎn)品型號(hào):ATLEX-1000-I
品牌名稱:德國(guó)ATL Lasertechnik
德國(guó)ATL Lasertechnik公司專業(yè)生產(chǎn)小型化、高重頻、緊湊型短脈沖,并在該領(lǐng)域保持技術(shù)地位。
產(chǎn)品特點(diǎn):
· 軟電暈預(yù)電離
· 全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器
· 激光頭容積 < 3L
· TMC(全金屬陶瓷)管路
· 集成真空泵和鹵素過(guò)濾器
· 全部風(fēng)冷,主動(dòng)熱管理
· RS-485、RS232、USB及光纖接口
· 可沖洗光具座
· 能量穩(wěn)定模式
· 符合歐洲CE標(biāo)準(zhǔn)
· 符合RoHS規(guī)范
產(chǎn)品應(yīng)用:
· 微機(jī)械加工
· 激光燒蝕
· 光譜學(xué)
· 計(jì)量學(xué)
產(chǎn)品參數(shù):
| ATLEX-1000-I 產(chǎn)品參數(shù) | |||
| 氣體介質(zhì) | ArF | KrF | 單位 |
| 波長(zhǎng) | 193 | 248 | nm |
| 高壓開(kāi)關(guān)技術(shù) | 固態(tài)開(kāi)關(guān) | | |
| 脈沖能量1 | 10 | 15 | mJ |
| 平均功率 | 8 | 10 | W |
| 重復(fù)頻率 | 1000 | Hz | |
| 脈沖寬度2 | 5 – 8 | ns | |
| 光束尺寸2(V x H) | 4 x 6 | mm | |
| 光束發(fā)散角2(V x H) | 1 x 2 | mrad | |
| 能量穩(wěn)定性(標(biāo)準(zhǔn)偏差) | < 3 | % | |
| 尺寸(長(zhǎng)x寬x高) | 540 x 470 x 370 | mm | |
| 重量 | 60 | kg | |
| 冷卻 | Cooling Air / Optional Liquid | | |
| 電力需求 | 230 VAC / 10 A / 1 phase / 50-60 Hz | | |
所有規(guī)格均為典型數(shù)據(jù),如有因產(chǎn)品改進(jìn)而更改的,恕不另行通知。
1 在重復(fù)頻率情況下測(cè)得: 應(yīng)用能量穩(wěn)定模式將會(huì)有10%的輸出能量損失。
2 典型值,FWHM


































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