產(chǎn)品簡(jiǎn)介
采用飛秒/納秒級(jí)短脈沖激光非接觸激發(fā)半導(dǎo)體材料與器件，通過高精度瞬態(tài)信號(hào)采集與智能擬合技術(shù)，解析電子/空穴遷移率、載流子壽命、吸收特性等關(guān)鍵參數(shù)。全面支持硅基、鈣鈦礦、有機(jī)半導(dǎo)體等材料的電荷傳輸特性研究，為光伏器件、薄膜晶體管及光電探測(cè)器的性能優(yōu)化提供核心數(shù)據(jù)支撐。
產(chǎn)品特點(diǎn)
l 樣品夾具可實(shí)現(xiàn)惰性氣體氛圍測(cè)試，滿足不同測(cè)試需求；
l 遷移率測(cè)量范圍：10-7～10-3cm2/V?sec；
l 樣品厚度：0.1 μm～十幾個(gè) μm；
l 遷移時(shí)間：大于10 ns；
l 樣品溫度范圍：-100～200℃；
l 光導(dǎo)玻璃纖維長(zhǎng)度：2.5 m，直徑：800 μm；
l 真空排氣裝置真空度：6.7 Pa(5x10-2Torr)。
產(chǎn)品用途
主要用于表征各類半導(dǎo)體材料的載流子傳輸性能及光物理性質(zhì)，具備縱向飛行時(shí)間法（Vertical TOF）和橫向飛行時(shí)間法（Lateral TOF）模塊，能夠分別測(cè)量電子和空穴的遷移率，評(píng)估材料的電荷傳輸能力。具備吸收光譜模塊，獲取材料在寬波長(zhǎng)范圍內(nèi)的吸收光譜，有助于建立材料結(jié)構(gòu)與光物理性質(zhì)之間的構(gòu)效關(guān)系。具備二維Mapping模塊和可視化系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)載流子遷移率的空間分布成像，用于研究材料均勻性、缺陷分布以及微觀結(jié)構(gòu)對(duì)性能的影響。具備變溫模塊，用于考察溫度對(duì)載流子傳輸行為的影響，有助于揭示傳輸機(jī)制（如陷阱分布、 hopping傳輸?shù)龋?/span>
技術(shù)參數(shù)
技 術(shù) 指 標(biāo) | 技 術(shù) 參數(shù) |
電學(xué)測(cè)量模塊 | l 緩存：512MS； l 采樣率：1 GS/s sampling； l 電壓范圍：±20 mV,±50 mV, ±100 mV,±200 mV, ±500mV,±1 V, ±2 V, ±5 V,±10 V，±20 V； l 時(shí)間分辨率：1ns； l 采樣電阻：50 Ω-13.5 KΩ，共32檔設(shè)置，通過軟件控制； l 支持軟件自動(dòng)切換電子或者空穴遷移率。 |
光學(xué)調(diào)節(jié)模塊 | l 光闌數(shù)量：1個(gè)， l 通光孔徑：1~20mm； l 光學(xué)入口：3個(gè)，光學(xué)入口夾角：22.5°，根據(jù)需要配置; l 光路在出廠時(shí)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)置。 |
樣品倉 | l 樣品測(cè)試電學(xué)接口：1個(gè)； l 樣品臺(tái)2軸可移動(dòng)，X軸行程20mm，Z軸行程30mm； l 配置可視化系統(tǒng)，可自動(dòng)對(duì)焦，200萬像素，30幀/秒，支持通過攝像頭方便看到測(cè)試光照射器件情況，調(diào)整樣品的光斑照射位置； l 提供客制化夾具，適用晶體、薄膜等。 |
偏置電源 | l 電壓范圍：2-200 V； l 電壓分辨率：0.1V； l 電流：5 mA； l 可軟件設(shè)置電壓值，自動(dòng)記錄電壓值及電場(chǎng)。 |
激光器系統(tǒng) | l 根據(jù)需要配置激發(fā)光源，包括N2激光器、半導(dǎo)體激光器、固態(tài)激光器等。 l 典型/常配355激光器： 1) 波長(zhǎng)：355nm； 2) 脈沖寬度：15ns； 3) 單脈沖能量：2-10μJ； 4) 工作頻率：1-10 KHz。 |
Lateral TOF模塊 | l 包含顯微系統(tǒng)、探針系統(tǒng)； l 針對(duì)Lateral-TOF的光路及電子部件系統(tǒng)等。 |
Mapping模塊 | l 軸數(shù)：2； l 移動(dòng)方向：X、Y； l 行程：±5mm； l 精度：5μm； l mapping測(cè)試功能：支持單點(diǎn)、多點(diǎn)、線性、二維掃描，支持X、Y軸細(xì)調(diào)設(shè)置，支持任意坐標(biāo)點(diǎn)設(shè)定，支持預(yù)估測(cè)試時(shí)間，實(shí)時(shí)顯示測(cè)試進(jìn)度，可自定義文件保存路徑，支持大于6種成像色彩方案，可以選擇峰值光電流或者指定飛行時(shí)間光電流成像。 |
變溫模塊 | l 薄型變溫恒溫器； l 配備變溫恒溫控制器； l 溫度控制分辨率0.5K； l 溫度范圍：86K-室溫； l 配備液氮罐； l 配備液氮連接附件； l 配備液氮自動(dòng)輸運(yùn)裝置，具備自動(dòng)泄壓保護(hù)功能； l 配備控溫軟件。 |
軟件 | l 測(cè)試功能：紫外可見吸收光譜、縱向載流子（電子/空穴）遷移率測(cè)試、水平載流子（電子/空穴）遷移率測(cè)試、載流子（電子/空穴）二維成像Mapping、變溫測(cè)試等； l 測(cè)試偏置電壓2V-200V可軟件設(shè)置，支持軟件切換電子或者空穴測(cè)量功能； l 采集時(shí)間范圍微秒至秒級(jí)設(shè)置，范圍1μs~10s； l 信號(hào)幅度可手動(dòng)設(shè)置，范圍20 mV~20 V； l 多種數(shù)據(jù)存儲(chǔ)深度設(shè)置，范圍1k~100 k； l 多次平均平滑處理選擇，支持256次平均； l 多條曲線線性或?qū)?shù)坐標(biāo)顯示； l 支持?jǐn)?shù)據(jù)精煉功能，支持0.1%~100保存數(shù)據(jù)保存比例； l 信號(hào)偏移范圍，支持±20V偏移范圍。 l 多種采樣電阻選擇，范圍50Ω~13.5 kΩ。 l 多種觸發(fā)模式選擇，包括無觸發(fā)、自動(dòng)觸發(fā)、重復(fù)觸發(fā)、單次觸發(fā)。 l 多種觸發(fā)源選擇，包括內(nèi)部觸發(fā)、外部觸發(fā)。 l 支持±5V觸發(fā)閾值可調(diào)。 |
工作條件說明
電源220V（±10％）/50Hz、氣溫+15℃～＋30℃、相對(duì)濕度小于80％；無其他特殊工作條件。
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