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ATH-M 系列 磁懸浮渦輪分子泵

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地廈門市
  • 更新時間2025-12-03
  • 廠商性質代理商
  • 所在地區(qū)廈門市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量85
  • 人氣值17022
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阿迪克森磁懸浮渦輪分子泵五大防腐特性自動平衡系統(tǒng)嵌入式75加熱系統(tǒng)5軸控制惰性氣體吹掃逆向動力密封(適用于ATH400與ATH1300型)高流量應用ATH400M,ATH1300M,ATH1600MATH2300andATH2800MT型是專為高壓、高流量的半導體工業(yè)以及其他薄鍍膜工藝而設計
ATH-M 系列 磁懸浮渦輪分子泵 產品詳情
    
    阿迪克森磁懸浮渦輪分子泵
    五大防腐特性
           自動平衡系統(tǒng)
           嵌入式75加熱系統(tǒng)
           5軸控制
           惰性氣體吹掃
           逆向動力密封(適用于ATH400與ATH1300型)
           高流量應用     
       ATH 400 M, ATH 1300 M,ATH 1600 M ATH2300 and ATH 2800 MT型是專為高壓、高流量的半導體工業(yè)以及其他薄鍍膜工藝而設計。

      緊湊而現(xiàn)代的設計:
             可調節(jié)轉速以優(yōu)化抽氣時的參數
             高平均時間
             使用成本低
             低噪音低振動
             無需電池
       應用:
              玻璃鍍膜
              微處理系統(tǒng)加工
              離子束矯正
              電子顯微鏡
              空間模擬腔
              粒子加速器
              半導體工藝(刻蝕, CVD, 離子插入)
              鍍膜與薄鍍膜工藝
              離子銑
              以及許多研發(fā)實驗
關鍵詞:電子顯微鏡
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