一、概述

1、氣體從鋼瓶出來(lái)，經(jīng)過(guò)減壓閥減壓，通過(guò)四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過(guò)浮子流量計(jì)控制氣體流量，然后經(jīng)過(guò)混氣罐,再進(jìn)入爐子進(jìn)氣口，氣體從出氣管出來(lái)，經(jīng)過(guò)三通閥門(mén)，一端連接 真空泵，一端連接出氣口。

2、 混氣罐上接有壓力表，壓力表顯示盤(pán)與浮子流量計(jì)安裝在同一面板上。

3、每一條氣體管路均有一個(gè)高壓截止閥。

4、該氣路采用高精度氣體浮子流量計(jì)，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好。

5、 所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。

二、技術(shù)參數(shù)：

氣路通道： 2  、3  、4、5  、6 、7（可根據(jù)需要確定）

氣路流量控制：采用浮子流量計(jì)或采用質(zhì)子流量控制器。

質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)參數(shù)：

接 口： Φ6

顯 示： 刻度

工作環(huán)境溫度: 5~45℃

流量控制器：浮子流量計(jì)或質(zhì)子流量控制器( 量程可根據(jù)需要確定)

50-500 ml/ min   2ml/ 格

10-100ml/min    2ml/ 格

四 氟 管：Φ6 外 X Φ4 內(nèi)

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa , 0.01 MPa/ 格

截 止 閥：Φ6

三、質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱(chēng): 質(zhì)子流量控制器

產(chǎn)品類(lèi)型: 氣體質(zhì)量流量計(jì) /D07 系列質(zhì)量流量計(jì)

產(chǎn)品描述 :普通型，模擬電路

產(chǎn)品詳細(xì)描述:普通型，模擬電路，橡膠密封，

管狀分流，不易堵塞。

主要指標(biāo):

· 量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM

（可以任意選擇量程）

· 準(zhǔn)確度：±1.5% F.S         · 線性：±0.5～1.5% F.S    · 重復(fù)精度：±0.2% F.S      

· 響應(yīng)時(shí)間：10S              · 氣壓降：<0.01MPa         · 更大壓力：3MP

· 工作環(huán)境溫度：5～45℃      · 輸入輸出信號(hào)：0～+5.00V  · 電源：+15V 50mA -15V 50mA

· 外形尺寸：158*30*110       · 重量：0.9 Kg