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HFO-100型鉿基鐵電薄膜測(cè)試

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  • 型號(hào)
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  • 所在地北京市
  • 更新時(shí)間2025-12-14
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
  • 所在地區(qū)北京市
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HFO-100型鉿基鐵電薄膜測(cè)試儀 關(guān)鍵詞:Hfo2,鉿基鐵電,鐵電薄膜
HFO-100型鉿基鐵電薄膜測(cè)試 產(chǎn)品詳情
HFO-100型鉿基鐵電薄膜測(cè)試儀

關(guān)鍵詞:Hfo2, 鉿基鐵電,鐵電薄膜,疲勞,電滯回線



一、產(chǎn)品介紹:

HFO-100型鉿基鐵電薄膜測(cè)試儀是一款高量程款的鐵電性能材料測(cè)試裝置,這款設(shè)備可以適用于鐵電薄膜、鐵電體材料(既可塊體材料)的電性能測(cè)量,可測(cè)量鐵電薄膜電滯回線、可測(cè)出具有非對(duì)稱(chēng)電滯回線鐵電薄膜值??梢赃M(jìn)行電致應(yīng)變測(cè)試,可以蝴蝶曲線功能,設(shè)備還可以擴(kuò)展高溫電阻,高溫介電,電容-電壓曲線,TSC/TSDC等功能。鐵電材料的大規(guī)模應(yīng)用源自鈣鈦礦結(jié)構(gòu)鈦酸鋇鐵電體的發(fā)現(xiàn),直到今日鈣鈦礦鐵電體仍然是無(wú)機(jī)鐵電體中的主流。然而,在微納電子應(yīng)用中,與 CMOS 工藝更兼容的鉿基鐵電薄膜逐漸成為研究熱點(diǎn)。本儀器是從事壓電材料及壓電元件生產(chǎn)、應(yīng)用與研究部門(mén)的重要設(shè)備之一,已經(jīng)在各大高校和科研院所廣泛使用。

二、氧化鉿鐵電材料的崛起

傳統(tǒng)的鈣鈦礦類(lèi)鐵電材料由于尺寸難以進(jìn)一步縮小,已經(jīng)難以滿(mǎn)足現(xiàn)代集成電路對(duì)高密度與高集成度的需求。而氧化鉿(HfO₂)基鐵電材料憑借其的微縮能力和與現(xiàn)有CMOS工藝的兼容性,成為近年來(lái)鐵電研究的熱點(diǎn)材料。氧化鉿材料的出現(xiàn)標(biāo)志著鐵電材料從傳統(tǒng)邁向現(xiàn)代,開(kāi)啟了存儲(chǔ)器應(yīng)用的新紀(jì)元。

主要功能: ■高存儲(chǔ)密度:單個(gè)存儲(chǔ)單元由一個(gè)晶體管構(gòu)成,可實(shí)現(xiàn)高密度集成;

■低功耗:極化翻轉(zhuǎn)所需能量低于傳統(tǒng)存儲(chǔ)器;

■高速性:操作速度小于20納秒,適合實(shí)時(shí)性要求高的應(yīng)用場(chǎng)景;

■非破壞性讀?。?/b>避免數(shù)據(jù)讀取過(guò)程中對(duì)存儲(chǔ)狀態(tài)的破壞,提高整體存儲(chǔ)效率。



二、主要技術(shù)指標(biāo):

1、輸出信號(hào)電壓::±100 V可擴(kuò)展電致應(yīng)蝴蝶曲線功能

2、溫度;室溫-200℃,控溫精度:±1℃

3、控制施加頻率0.01到1KHz(陶瓷、單晶,薄膜)PC端軟件控制自定義設(shè)置;

4、控制輸出電流0到±50mA連續(xù)可調(diào),PC端軟件控制自定義設(shè)置。

5、動(dòng)態(tài)電滯回線測(cè)試頻率范圍 0.01Hz-1kHz

7、最小脈寬保持時(shí)間為20us;最小上升沿時(shí)間為10us;

8、疲勞測(cè)試頻率500kHz(振幅10 Vpp,負(fù)載電容1 nF);

9、測(cè)試速度:測(cè)量時(shí)間《5秒/樣品•溫度點(diǎn)

10、樣品規(guī)格:塊體材料尺寸:直徑2-100mm,厚度0.1-10mm

11、主要功能: 動(dòng)態(tài)電滯回線DHM,靜態(tài)電滯回線SHM,I-V特性,脈沖PUND,疲勞Fatigue,電擊穿強(qiáng)度BDM,漏電流LM,電流-偏壓,保持力RM,

10. 電荷解析度不小于10 mC;

漏電流測(cè)量范圍:1pA~ 20 mA,分辨率不低于0.1pA;

12、控制方式:計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)控制、實(shí)時(shí)顯示、實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)計(jì)算、分析與存儲(chǔ)

13、軟件采集:自動(dòng)采集軟件,分析可以兼容其他相關(guān)主流軟件。

14、測(cè)試精度:±0.05%

15、內(nèi)置電壓:±20V

16、可增模塊:

印跡印痕IM

變溫測(cè)試THM

POM 模塊實(shí)現(xiàn)極化測(cè)量功能

CVM模塊實(shí)現(xiàn)小信號(hào)電容測(cè)試,獲得C-V曲線

PZM模塊實(shí)現(xiàn)壓電特性測(cè)試

DPM模塊測(cè)試介電性能

RTM模塊測(cè)試電阻/電阻率性能

CCDM模塊實(shí)現(xiàn)電容充放電測(cè)試。

17、探針臺(tái)(選配):

規(guī)格/參數(shù)

型號(hào)

MPS-4

MPS-6

MPS-8

MPS-12

電力需求

220VC,50-60HZ

樣品臺(tái)

尺寸

4寸

6寸

8寸

12寸

行程

XY行程50mm,Z軸升降60mm,360°旋轉(zhuǎn)可鎖緊

移動(dòng)精度

標(biāo)配10μm,可升級(jí)(5μm,3μm,1μm)

背電極測(cè)試功能

可以引出電極

可以引出電極

可以引出電極

可以引出電極

定制模塊

可定制位移行程和精度

可定制位移行程和精度

可定制位移行程和精度

可定制位移行程和精度

探針調(diào)整座

XYZ行程

13mm-13mm-13mm

機(jī)械精度

標(biāo)配10μm,可升級(jí)(5μm,3μm,1μm)

漏電精度

10pA-100fA(配置屏蔽箱)

安裝方式

直接磁力吸附/可調(diào)磁力吸附/真空吸附

接口形式

香蕉插頭/鱷魚(yú)夾/同軸BNC/三同軸BNC

光學(xué)成像

放大倍數(shù)

7-200倍(可升級(jí)到720倍)

CCD像素

500W(可升級(jí)200W)

中心距離

140mm,升降范圍270mm,總高度350mm

顯示器

8寸顯示器,將3-17mm的樣品放大到整個(gè)屏幕(可升級(jí)大尺寸顯微鏡)

可選附件

加熱卡盤(pán)

高低溫卡盤(pán)

鍍金卡盤(pán)

隔振支架

積分球測(cè)試選件

屏蔽箱

射頻測(cè)試附件

導(dǎo)入光源支架

波長(zhǎng)單色可調(diào)光纖光源(測(cè)光電流)

顯微鏡調(diào)節(jié)手動(dòng)/電動(dòng)調(diào)節(jié)裝置

激光切割顯微鏡

轉(zhuǎn)接頭配件


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