ZTFT-3000型鐵電測試儀

ZTFT-3000型鐵電測試儀是新一代鐵電測試儀，采用集成電路設(shè)計，軟件豐富多元化設(shè)計，具備DHM動態(tài)電滯回線，C-V曲線，LM漏電曲線，FM疲勞曲線，PM脈沖測量，IM印跡，RM保持力，BDM擊穿保護(hù)，可擴(kuò)展TSD熱釋電系數(shù)，TSDC熱刺激電流，DTS介電溫譜，ECM電卡效應(yīng)，RT電阻測量，POM油浴極化。采用模塊化設(shè)計，即可獨(dú)立又可組合，是目前試驗室重要材料測量設(shè)備。

一、鐵電測試主機(jī)主要性能

整套系統(tǒng)可以測試塊體材料在室溫到200℃，電壓±5kV電流2mA以內(nèi)的鐵電、壓電性能。可以測試的鐵電性能包括：動態(tài)電滯回線、電滯IV曲線、疲勞曲線、漏電流曲線、C-V曲線、損耗曲線，變溫測試功能。

二、測試功能要求

1. 電滯回線測試

測試電壓：0～±5kV（其中主機(jī)輸出0～100V，用于薄膜測試；接電壓放大器輸出0～±5kV，用于塊材測試）；

測量頻率：0.1Hz~10kHz；

電荷測量解析度范圍: 0.80pC~5.26mC；

材料測量面積解析度范圍0.080μm² ~50cm²；

在使用外部高壓電源時，測量電荷的解析度為526mC。

2. 記憶特性測試

電壓范圍：0～5V

五脈沖系列測試鐵電體記憶特性；

脈沖測試:0.5us~1s；

0V上升到5V的時間: 500ns；

5個脈沖的電壓,預(yù)設(shè)直流偏壓和偏置時間可以任意設(shè)定，最小脈沖寬度2.5MHz；

脈沖之間可以設(shè)定40000秒的延遲。

3. 漏電流測試

可進(jìn)行漏電流-偏置電壓測試和漏電流-時間測試；

分辨率:1pA；

漏電流測試:0-12.5mA。

4. 疲勞測試

疲勞測量頻率:0- 100kHz；

脈沖寬度:0-0.5us；

可以通過外接任意波形產(chǎn)生器使疲勞測試頻率提升到1MHz以上。

三、10KV高壓測試模塊

1. 配有用于塊體材料測試的±5KV高壓放大器，電壓±5KV，電流2mA，頻率400Hz，精度要求優(yōu)于滿量程的0.3%；

2. 配有獨(dú)立的高壓保護(hù)回路裝置，高電壓下保證主機(jī)和測試頭免受破壞，同時起到測試主機(jī)與高壓放大器通信功能；

3、配有常溫高壓塊體測試夾具，耐壓0-5kV，具有良好絕緣性，可放置硅油。

四、塊材壓電測試模塊

1．配有位移測試系統(tǒng)，配合鐵電測試主機(jī)要求達(dá)到測試解析度0.6nm；

2. 配壓電體材料樣品盒：室溫到200℃，耐壓范圍：0-10kV，帶有位移反射面；

3．配壓電測試軟件, 可進(jìn)行測量程序設(shè)定和數(shù)據(jù)圖形存儲，得出壓電蝴蝶曲線。

五、數(shù)據(jù)采集分析軟件

1. 能準(zhǔn)確測量并繪制鐵電薄膜的電滯回線，定量得到鐵電薄膜材料的飽和極化Ps、剩余極化Pr、矯頑場Ec、漏電流等參數(shù);

2. 可以進(jìn)行鐵電薄膜材料的鐵電疲勞性能、記憶性能、鐵電保持性能的測試，電阻測量，漏電流測量與繪制。