邁向潔凈真空的新方向。Edwards nXDS15i 干式渦旋真空泵為對(duì)潔凈性有較高要求的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)環(huán)境提供無(wú)油運(yùn)行的解決方案。該機(jī)型采用渦旋容積壓縮機(jī)制,不依賴(lài)潤(rùn)滑油參與壓縮過(guò)程,從而在使用中顯著減少油蒸汽對(duì)樣品或分析儀器的影響,便于在質(zhì)譜、電鏡、半導(dǎo)體封裝、光伏及各類(lèi)分析設(shè)備中作為穩(wěn)定的真空源。
主要特點(diǎn):
無(wú)油運(yùn)行,降低油蒸汽污染風(fēng)險(xiǎn):渦旋結(jié)構(gòu)在密閉腔體內(nèi)完成氣體壓縮,整個(gè)過(guò)程無(wú)需潤(rùn)滑油參與,適合對(duì)潔凈度有要求的工況。
緊湊輕量易集成:外形尺寸約 305×203×232 mm,重量約 9.5 kg,支持 100–240 VAC 單相電源,便于在有限空間內(nèi)安裝與搬運(yùn)。
低振動(dòng)低噪聲:渦旋線(xiàn)型與動(dòng)平衡設(shè)計(jì)有效抑制振動(dòng),運(yùn)行噪聲明顯低于同類(lèi)油泵,有利于實(shí)驗(yàn)室與潔凈間的使用體驗(yàn)。
連續(xù)運(yùn)行能力:電機(jī)直聯(lián)、運(yùn)動(dòng)部件少,良好的散熱設(shè)計(jì)支持長(zhǎng)時(shí)間不間斷運(yùn)行,適合工業(yè)生產(chǎn)線(xiàn)及長(zhǎng)期實(shí)驗(yàn)工況。
對(duì)維護(hù)的友好性:無(wú)需換油與油處理,常規(guī)維護(hù)主要圍繞進(jìn)氣過(guò)濾與外部清潔展開(kāi),維護(hù)工作量與運(yùn)行成本均能得到控制。
如果需要查看更詳細(xì)的產(chǎn)品參數(shù)或?qū)Ρ刃吞?hào),請(qǐng)參考相關(guān)資料。
| 參數(shù)類(lèi)別 | 詳細(xì)規(guī)格 |
|---|---|
| 品牌與產(chǎn)地 | Edwards(愛(ài)德華茲),英國(guó)進(jìn)口 |
| 泵類(lèi)型 | 干式、無(wú)油渦旋真空泵 |
| 驅(qū)動(dòng)方式 | 渦旋式(Scroll),電機(jī)直聯(lián)驅(qū)動(dòng) |
| 抽速(50 Hz) | 15.11 m3/h |
| 極限真空度 | < 1×10?? MPa(約 < 1×10?2 mbar) |
| 電機(jī)功率 | 370 W |
| 電源 | 100–240 VAC,50/60 Hz,單相 |
| 轉(zhuǎn)速 | 2950 rpm |
| 接口尺寸 | 入口:KF25;出口:16 mm |
| 工作溫度 | ≤ 40 ℃ |
| 冷卻方式 | 空氣對(duì)流冷卻 |
| 主要材質(zhì) | 渦旋盤(pán):特種鋁合金;殼體:鑄鐵/鋁合金;密封:氟橡膠 |
| 外形尺寸(L×W×H) | 約 305 × 203 × 232 mm |
| 重量 | 9.5 kg |
| 適用介質(zhì) | 潔凈、干燥的非腐蝕性氣體(避免大量可凝蒸汽、顆粒、強(qiáng)腐蝕氣體進(jìn)入) |
應(yīng)用示例(半導(dǎo)體封裝實(shí)驗(yàn)室):
某半導(dǎo)體封裝實(shí)驗(yàn)室將關(guān)鍵工藝線(xiàn)的油泵替換為 Edwards nXDS15i,用于粘接與真空塑封環(huán)節(jié)。替換后,工藝腔體中可檢測(cè)到的油性殘留明顯減少,封裝良率與測(cè)試數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性得到提升;同時(shí),維護(hù)頻率與與油類(lèi)消耗及處理成本顯著下降,實(shí)驗(yàn)室環(huán)境與員工體驗(yàn)均有所改善。有關(guān)更多現(xiàn)場(chǎng)案例,請(qǐng)參閱我們的應(yīng)用案例頁(yè)面。
常見(jiàn)問(wèn)題(FAQ):
Q: “干式”與“無(wú)油”有何區(qū)別?
A: 在此語(yǔ)境中兩者可視為同義。nXDS15i 通過(guò)渦旋盤(pán)形成容積變化來(lái)壓縮氣體,無(wú)需潤(rùn)滑油參與壓縮過(guò)程。Q: 能否用于含少量水蒸氣或溶劑蒸汽的工藝?
A: 對(duì)少量可凝蒸汽需謹(jǐn)慎,持續(xù)或大量進(jìn)入會(huì)冷凝并影響渦旋盤(pán)。建議在入口處加裝冷凝或捕集裝置來(lái)保護(hù)泵。Q: 維護(hù)頻率如何?
A: 機(jī)內(nèi)關(guān)鍵部件為無(wú)接觸或低磨損結(jié)構(gòu),常規(guī)維護(hù)為定期清潔/更換入口過(guò)濾器及檢查冷卻散熱,通常以運(yùn)行小時(shí)數(shù)為基準(zhǔn)安排檢查。Q: 可否用于連續(xù) 24/7 運(yùn)行?
A: 可以。該泵設(shè)計(jì)允許連續(xù)運(yùn)行,但應(yīng)確保良好散熱與適當(dāng)?shù)倪M(jìn)氣處理。Q: 遇到吸入少量粉塵怎么辦?
A: 建議在入口處安裝合適的粉塵過(guò)濾器,以避免顆粒造成渦旋盤(pán)劃傷或提前磨損。
服務(wù)與集成建議:
安裝前檢查:確認(rèn)電源規(guī)格、通風(fēng)空間與進(jìn)氣過(guò)濾裝置配置;入口建議配用冷凝器或顆粒過(guò)濾器以延長(zhǎng)泵壽命。
集成控制:泵通常提供運(yùn)行/故障信號(hào)與啟停控制接口,便于接入 PLC 或?qū)嶒?yàn)室自動(dòng)化系統(tǒng),具體接口規(guī)范可咨詢(xún)供應(yīng)商的技術(shù)支持。
備件與維護(hù):建議備有進(jìn)氣濾芯、密封件等易損件,以便在發(fā)生異常時(shí)快速恢復(fù)運(yùn)行;相關(guān)維護(hù)流程可參考我們的維護(hù)指南。
售后承諾:提供出廠檢驗(yàn)報(bào)告與出廠調(diào)試建議,用戶(hù)如需現(xiàn)場(chǎng)安裝或培訓(xùn),可聯(lián)系銷(xiāo)售與服務(wù)團(tuán)隊(duì)安排支持。
結(jié)語(yǔ):Edwards nXDS15i 以無(wú)油渦旋設(shè)計(jì)在需要潔凈真空的場(chǎng)合提供實(shí)用的解決方案。通過(guò)合理的進(jìn)氣處理與規(guī)范的安裝調(diào)試,它能夠?yàn)閷?shí)驗(yàn)室及生產(chǎn)線(xiàn)帶來(lái)更穩(wěn)定的真空環(huán)境與更可控的維護(hù)節(jié)奏。若需獲取具體的接入方案、報(bào)價(jià)或現(xiàn)場(chǎng)評(píng)估,歡迎聯(lián)系銷(xiāo)售與服務(wù)團(tuán)隊(duì)獲取進(jìn)一步信息。






































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