在對(duì)潔凈真空有較高要求的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)環(huán)境中，Edwards nXDS15i 干式渦旋真空泵以無(wú)油運(yùn)行為設(shè)計(jì)基點(diǎn)，減少油蒸汽對(duì)腔體、樣品和分析儀器的影響。該款英國(guó)進(jìn)口渦旋泵通過(guò)容積式渦旋壓縮實(shí)現(xiàn)抽氣與排氣，全過(guò)程無(wú)需潤(rùn)滑油參與，適合用于質(zhì)譜、電子顯微鏡、半導(dǎo)體封裝、光伏和各類分析儀器的前級(jí)真空或直接應(yīng)用。

主要亮點(diǎn)摘要：

• 無(wú)油渦旋結(jié)構(gòu)，運(yùn)行過(guò)程不引入潤(rùn)滑油，降低了對(duì)工藝潔凈度的威脅。

• 抽速約 15.11 m3/h（50 Hz），極限真空度可達(dá) 10?2 mbar 量級(jí)（即 <1×10?? MPa），適用于低真空到中真空的工藝需求。

• 體積緊湊、重量輕（約 9.5 kg），便于系統(tǒng)集成與移動(dòng)部署。

• 設(shè)計(jì)注重低振動(dòng)與低噪聲，利于實(shí)驗(yàn)室和潔凈環(huán)境的使用。

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典型應(yīng)用示例

一家半導(dǎo)體封裝實(shí)驗(yàn)室在粘接與真空塑封工藝中，由于使用油潤(rùn)滑泵而出現(xiàn)微量油蒸汽導(dǎo)致的產(chǎn)品良率波動(dòng)。將關(guān)鍵工位改用兩臺(tái) nXDS15i 后，工藝腔體的碳?xì)浠衔餀z測(cè)值顯著降低，封裝一致性與可靠性數(shù)據(jù)更加穩(wěn)定。與此同時(shí)，日常維護(hù)需求減少，油品采購(gòu)及危廢處理成本得到控制，環(huán)境與噪聲狀況也有所改善。

常見(jiàn)問(wèn)答（節(jié)選）

• Q：“干式”和“無(wú)油”是同一概念嗎？nXDS15i 如何實(shí)現(xiàn)？
       A：在此語(yǔ)境下“干式”即指無(wú)油運(yùn)行。nXDS15i 通過(guò)兩個(gè)精密嚙合的鋁合金渦旋盤形成周期性變化的腔體來(lái)壓縮并排出氣體，整個(gè)過(guò)程無(wú)需潤(rùn)滑油。

• Q：能否處理含有水蒸氣或溶劑蒸汽的工藝？
       A：對(duì)微量可凝蒸汽具一定耐受性，但若大量或持續(xù)存在，會(huì)在渦旋盤表面凝結(jié)，影響使用壽命。建議在泵入口端加裝冷凝器或捕集裝置以保護(hù)泵體。

• Q：維護(hù)要點(diǎn)有哪些？間隔多久？
       A：核心部件無(wú)需頻繁保養(yǎng)。常規(guī)維護(hù)包括定期檢查并清潔進(jìn)氣濾器（如已安裝），建議按運(yùn)行時(shí)間或環(huán)境狀況設(shè)定檢查周期（例如每 2000 小時(shí)視情況檢查）。

• Q：可否用于連續(xù) 24/7 運(yùn)行？
       A：該泵設(shè)計(jì)適合工業(yè)連續(xù)運(yùn)行，具備穩(wěn)定的機(jī)械結(jié)構(gòu)與散熱設(shè)計(jì)，能滿足長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行的需要。

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