VERITAS系列掃描電鏡秉承EM科特電子顯微技術(shù)高分辨高效率的性能,內(nèi)置CCD攝像機(jī)和導(dǎo)航功能可幫助用戶輕松地找到理想?yún)^(qū)域。
VERITAS系列掃描電鏡擁有大樣品倉室,內(nèi)含5軸多功能電動(dòng)樣品臺(tái),可輕松測(cè)量大尺寸的樣品。并且VERITAS系列的樣品倉可同時(shí)安裝了多個(gè)樣本,減少樣品來回放置時(shí)因抽真空所使用的時(shí)間,從而達(dá)到快速分析測(cè)樣的目的,有效地提高檢測(cè)速度。
EM科特VERITAS系列產(chǎn)品技術(shù)亮點(diǎn):
l大尺寸樣品分析 VERITAS系列可以分析常規(guī)SEM無法分析的大尺寸樣品。例如:晶圓、磁盤
l無損樣品分析 無需切割即可分析樣品。例如PCB、半導(dǎo)體圖案分析
l較重樣品分析 能夠分析較重樣品。例如巖石、鐵礦石
l快速樣品分析 同時(shí)進(jìn)行多個(gè)樣品的分析,大大提高工作效率,節(jié)約成本
技術(shù)指標(biāo):
分辨率 | 2nm |
放大倍數(shù) | x10-x300000 |
電子槍 | LaB6/CeB6 |
探測(cè)器 | 二次電子探測(cè)器、背散射探測(cè)器 |
真空系統(tǒng) | 全自動(dòng)真空系統(tǒng)(<90s) |
顯示模式 | 聚焦模式 預(yù)覽模式 |
自動(dòng)功能 | 聚焦 |


































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