OSAKA大阪真空機器小型螺桿干泵DSP251

OSAKA大阪真空機器小型螺桿干泵DSP251

干式真空泵，節(jié)能型多級羅茨干泵ER100D，ER100DC，空冷型多級羅茨干泵FR060D，小型螺桿干泵DSP251，DSP501

產品介紹

干式真空泵

干式真空泵是一種容積式真空泵，其排氣通道的密封不使用油或液體。

干式真空泵廣泛被應用在半導體產業(yè)、電子元件、平板顯示（FPD）、醫(yī)藥、食品等領域，用于改善良品率和延長產線維護周期。

干式真空泵按轉子結構可分為多級羅茨型、螺桿型、渦旋型、爪式等。

大阪真空的多級羅茨型干式真空泵

從吸氣口吸入的氣體通過轉子的旋轉，在各級依次被壓縮和輸送，并從排氣口排出。泵主要由轉子、外殼，以及電機、軸承、齒輪等部件組成。

軸承和齒輪使用潤滑油，但為了防止?jié)櫥托孤┑秸婵諅?，設有軸封機構。軸封機構還可防止排氣氣體和異物進入軸承和潤滑油室。

大阪真空的螺桿型干式真空泵

兩根平行的螺桿型轉子在保持與外殼內壁及彼此之間的微小間隙的同時旋轉，從而使氣體從轉子與外殼之間形成的空間沿軸向連續(xù)輸送。氣體從吸氣口被吸入該空間，并在輸送至排氣側的過程中被壓縮排出。

采用無同步齒輪結構，實現(xiàn)了無需潤滑油的無油設計。

搭載小型增壓泵，實現(xiàn)了0.5Pa的極限壓力。

ER100D/ER100DC

同型號干式真空泵中的節(jié)能，小型?輕量。

　極限壓力時的耗電量：400W

　占地面積：0.11m2

　重量：60Kg

根據客戶的需要，提供相應的規(guī)格。

　ER100D：適用于輕負載潔凈工藝的排氣

　ER100DC：使用了耐腐蝕能力強的材料，可排腐蝕性氣體

空冷型多級羅茨干泵　FR系列

無需冷卻水的小型空冷式干式真空泵。在接近大氣壓時具備高排氣速度，非常適用于需要大氣引入的應用。此外，能夠在接近極限壓力時仍保持穩(wěn)定的大排氣速度，從而縮短工藝排氣時間。

小型螺桿干泵　DSP系列

產品具有小型輕量，便于攜帶，節(jié)能、低振動、低噪音等特點，且全系列單相電源，即插即用。產品搭載小型增壓泵，實現(xiàn)0.5Pa的極限壓力。