A100L/LES – 干泵的世界很美
極限真空：7×10-4mbar （LES）
抽速100m3/h ( 28L/S)
被證實(shí)的平均故障間隔 195 000 hrs
特殊的密封結(jié)構(gòu)，漏率＜5×10-7mbar.l/s
體積緊湊小巧
噪音極低（低于55dB)，振動(dòng)極小
具有多級(jí)羅茨干泵的其他優(yōu)點(diǎn)

A100L/LES – 干泵的世界很美

A100L/A200L是緊湊型干泵

用于潔凈制程的整體式干泵
具有緊湊結(jié)構(gòu)的潔凈制程整體式干泵是專(zhuān)為滿(mǎn)足半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)施中的靈活彈性集成要求而開(kāi)發(fā)的。為了在方便在機(jī)臺(tái)內(nèi)直接安裝和快速抽空的設(shè)計(jì)要求，用于潔凈制程的該系列緊湊型泵是裝載互鎖、傳輸室以及其他非腐蝕性應(yīng)用的*解決方案。

針對(duì)高氣流量應(yīng)用的全新解決方案
普發(fā)真空推向市場(chǎng)的用于高氣流量應(yīng)用的全新 200 m³/h 級(jí)別產(chǎn)品 A 200 L，再次展示出了其在整體式干泵市場(chǎng)中。憑借著 100 m³/h 級(jí)別產(chǎn)品 A 100 L 和 200 m³/h 級(jí)別產(chǎn)品 A 200 L，普發(fā)真空為一切潔凈制程應(yīng)用提供完整的產(chǎn)品種類(lèi)。

優(yōu)勢(shì)

• 高氣流量
• 體積小巧
• 裝配優(yōu)化
• 購(gòu)置成本低

應(yīng)用

• 裝載互鎖和傳輸室
• 半導(dǎo)體生產(chǎn)
• 光伏

行業(yè)的整體式干泵
自從 A 100 L 泵問(wèn)市以來(lái)，它*改變了半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)設(shè)施中泵的集成問(wèn)題?；诟墒蕉嗉?jí)羅茨泵技術(shù)，盡管尺寸小，整體式干泵依然提供了高抽速和短抽空時(shí)間的特點(diǎn)。如今，整體式潔凈制程的干泵泵是的，且 A100 系列在*范圍內(nèi)很多 300 mm 半導(dǎo)體工廠內(nèi)進(jìn)行了安裝。

用于裝載互鎖和傳輸室的整體式干泵
在諸如裝載互鎖和傳輸室等潔凈制程應(yīng)用中，這些泵排除了泵安裝中的真空管路影響。通過(guò)使用整體式干泵，可降低真空管路安裝、集成和調(diào)試的成本。該泵在生產(chǎn)過(guò)程中提供可持續(xù)的杰出性能且具有高效節(jié)能的特點(diǎn)。高可靠性和*穩(wěn)定性使該泵脫穎而出。

整體式干泵——不僅僅用于半導(dǎo)體行業(yè)
該泵能提供干燥和無(wú)塵的潔凈真空，整體式干泵也為太陽(yáng)能光電設(shè)備提供解決方案。低噪音和低振動(dòng)是該水冷卻系列的另一優(yōu)勢(shì)。小巧的體積保證了其在大型機(jī)臺(tái)內(nèi)集成的便利性。