主要特點(diǎn)

1、通過控制面板的按鍵及開關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時(shí)間。

2、時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。

3、設(shè)有一個(gè)三通閥，可精確控制進(jìn)氣流量，以及大氣流清洗腔體，進(jìn)氣接口為6mm卡套接口。

4、選用大功率射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：AC220V  50/60Hz

2、輸出功率：7.2W、10.2W、29.6W

3、真空泵功率：<500W

4、總功率：<600W

5、射頻頻率：3.0MHz，功率3檔可手動(dòng)調(diào)節(jié)

6、等離子腔體：高純石英腔體?160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封，法蘭上設(shè)有?45mm 的觀察窗

7、真空泵：240L/min，直連式雙旋真空泵

8、極限真空度：50mtorr

9、通入氣體：可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定）

清洗及蝕刻

產(chǎn)品規(guī)格

1、尺寸：400mm×300mm×300mm

2、重量：10.2kg

可選配件

A、2"-6"石英舟（盛放基片）

B、2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)