法國PHASICS(菲茲克斯)公司一直在致力于創(chuàng)新,就在2019年6月,提出了市場上臺現(xiàn)成的真空環(huán)境兼容版波前傳感器。SID4-V設(shè)計用于在高真空條件下進行波前測量,實現(xiàn)了等同于實驗室條件下的波前原位測量。PHASICS的新型SID4-V真空波前傳感器也可被用來表征經(jīng)壓縮容器壓縮后的激光光束。在氣體射流和等離子體密度測量應(yīng)用中,能更準確地接近目標。
優(yōu)點:PHASICS的這一獨特技術(shù),使得每一個光學元件像差的精準校正直接升級到真空環(huán)境中。
技術(shù)規(guī)格:
真空兼容性:> 10-6 mbar
波長范圍:400 – 1100 nm
孔徑尺寸:4.73 x 3.55 mm2
NA(可選軟件):0.2
空間分辨率:29.6µm
相位和強度采樣:160 x 120
精度:15nm RMS
分辨率(相位):2nm RMS
采集速率:60 fps
實時處理頻率:7Hz(全分辨率)
接口:千兆以太網(wǎng)
MTBF:> 10年
尺寸(w x h x l): 54 x 46 x 75.3 mm
重量:~ 250克





























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