x|aminer具有亞微米級高分辨率X射線檢測系統(tǒng)，于半導(dǎo)體封裝和線路板組裝等電子行業(yè)領(lǐng)域產(chǎn)品的內(nèi)部缺陷檢測和失效分析。標配超高性能的開放式亞微米級160kVX射線管，細節(jié)分辨力達到1μm，高分辨率的兩百萬像素數(shù)字成像鏈、幾何放大倍率可達2100倍，可對被測物進行傾斜70°，旋轉(zhuǎn)360°任意范圍內(nèi)的視角進行檢測。

軟件可對BGA、CSP進行手動及半自動程序檢查檢測，并自動生成檢測數(shù)據(jù)報告

系統(tǒng)放大倍數(shù)和分辨率

幾何放大倍數(shù)：可達2100倍
細節(jié)分辨能力：<1微米

亞微米級X射線管

類型：開放管，透射式管頭，170度輻射角，準直功能
管電壓：160kV
管功率：20W
陽極靶 ：無毒鎢靶，可旋轉(zhuǎn)調(diào)整以便多次使用
陰極燈絲：鎢絲，經(jīng)預(yù)調(diào)的即插式結(jié)構(gòu)，更換簡單快速
真空系統(tǒng)：渦輪分子真空泵和無油式低真空泵

檢測平臺

總體結(jié)構(gòu)：高精度、無振動、5軸同步驅(qū)動
檢測區(qū)域：410mm×410mm
工件尺寸/重量：410mm×410mm/5kg
高放大倍率下傾斜視角：0°~70°無級調(diào)節(jié)
旋轉(zhuǎn)角度：360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)

系統(tǒng)尺寸

尺寸(WxHxD)：2020 mm x 1920 mm x 1860 mm (不包括控制臺, 包括300mm(11.8″)可拆卸后伸展臺)
最小運輸寬度：1560 mm
高度可調(diào)控制面板(D)：00mm(19.5″)
重量：約2300 kg
射線防護：安全防護室??鉛鋼防護，鉛玻璃，輻射泄漏率<1μSv/h

硬件選配

傾斜/旋轉(zhuǎn)裝置：傾斜±45°，連續(xù)旋轉(zhuǎn)360°，承重工件2kg
平板探測器 ：可替換圖像增強器
CT功能：需CT用高精度旋轉(zhuǎn)裝置與平板探測器