
| | LTHS2 |
| 運(yùn)動(dòng)范圍XY(µm) | 75 |
| 分辨率XY(nm) | 0,075 |
| 典型的噪聲基準(zhǔn) XY(nm) | 0,0075 |
| 的重復(fù)性XY(nm) | 0,15 |
| 線(xiàn)性化(典型的) | 0,02% |
| 諧振頻率X / Y(Hz) | 1500/1000 |
| 剛度 (N/µm) | 2/2 |
| 負(fù)載(kg)-水平使用 | 0,5 |
| 負(fù)載(kg)-垂直使用 | 0,3 |
| 傳感器 | Silicon HR sensor |
| 尺寸W x L x H (mm) | 152,5 x 190 x 18,5 |
| 材料 | Al |
| 電纜長(zhǎng)度(m) | 2 |
| 推薦控制器 | Standard or High Speed |




































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