FRT薄膜厚度測量儀
薄膜層厚測量傳感器 FTR
薄膜層厚測量傳感器FTR為專用的膜層測量儀器,通過于MicroProf型MicroGlider 型結(jié)合使用,可應(yīng)用于各種高精度的測量場合,其層厚分辨率可達(dá)1nm;非接觸無損測量更拓寬了其應(yīng)用場合;如光學(xué)鍍膜加工(膜層厚度、消光系數(shù)等參數(shù));半導(dǎo)體硅片表面膜層分析;氧化表面微細(xì)分析、漆膜等等
薄膜層厚測量傳感器FTR技術(shù)參數(shù):
測量原理 | 反射測量(非接觸) | ||||
光源 | 鹵素?zé)?/span> | 氚-鹵素?zé)?/span> | |||
波長范圍 | 400—850nm | 650—1100nm | 400—1100nm | 250nm—850nm | 250—1100nm |
層厚測量范圍 | 50nm-20um | 70nm-70um | 50nm-100um* | 10nm-20um | 10nm-70um |
層厚分辨率 | 1 nm | ||||
X,Y軸分辨率 | 0.1um | ||||
注:*----可選1um—250um




































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