此款設(shè)備將實(shí)驗(yàn)級(jí)別的升華機(jī)右端料端均對(duì)接手套箱,手套箱可內(nèi)襯四氟或噴涂特氟能起到防腐作用,半導(dǎo)體材料升華儀根據(jù)材料升華溫度、分子量的差異,對(duì)于材料進(jìn)行提純,參數(shù)準(zhǔn)確,工藝可靠穩(wěn)定,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,單次升華可大幅度降低有機(jī)材料中的雜質(zhì)金屬離子濃度,將材料的純度提升一至三個(gè)數(shù)量級(jí)。整個(gè)操作過(guò)程材料與大氣隔絕,避免了大氣中水、氧的影響以及灰塵的污染,是制備高純度半導(dǎo)體前驅(qū)體及相關(guān)材料的。
| 設(shè)備型號(hào) | BOF-5-100V |
| 設(shè)備尺寸 | 1550*650*1260mm |
| 外管尺寸 | 100*1200mm |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 100+200+100+200+100mm |
| 額定功率 | 6kw |
| 工作溫度 | 軟件溫控保護(hù)溫600° ,設(shè)備硬件支持溫度800° |
| 加熱元件 | 進(jìn)口KTL電阻絲 |
| 控溫元件 | 觸摸液晶屏+工控儀表 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 沖溫幅度 | ±1℃ |
| 推薦升溫速率 | ±1℃ |
| 機(jī)械泵抽速 | ±1℃ |
| 分子泵抽速 | 250L/s |
| 極限真空 | 10^-4Pa |
| 顯示屏尺寸 | 10寸 |
| 手套箱右側(cè)配置一臺(tái)對(duì)面雙工位 | 1220*1000*900mm |





































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