硫粉預(yù)熱器

 工作溫度：400℃

 溫度：1200℃

 升溫速率：≤30℃/min

 推薦升溫速率：10℃/min

 控溫方式：智能化30段可編程控制

 工作電壓：AC220V

 額定功率：800W

 控溫精度：±1℃

 加熱元件：電阻絲

加熱區(qū)參數(shù)

 額定功率：5kw

 溫度：1200℃

 工作溫度：1100℃

 升降溫速率：≤30℃/min

 爐管尺寸：高純度石英管Φ25/Φ50/Φ60/Φ80/Φ100X1650mm  (管徑可選)

 加熱區(qū)長度：200+200mm  

 恒溫區(qū)長度：290mm

 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能。

 標準配件：石英管1支，莫來石管堵2對，不銹鋼法蘭1套，硅膠密封圈2套，高溫手套1副，坩堝鉤1支；

 尺寸：約 550×380×600 mm（爐子）

 約：1700×380×620 mm（爐子+滑軌）

 可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等加熱區(qū)。

氣路系統(tǒng)參數(shù)

 質(zhì)量流量計參考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可選）

 準確度：±1.5%

 線性：±0.5～1.5%

 重復(fù)精度：±0.2%

 響應(yīng)時間：≤10 sec

 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

 壓力：3MPa

 接口：Φ6,1/4''

 顯示：4位數(shù)字顯示

 工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體             

 內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6

 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa，0.01 MPa/格

 截止閥：Φ6

 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭

 可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計

低真空系統(tǒng)參數(shù)

 抽速：10m³/h

 極限真空度：5*10^-1pa

 電源：220V 50HZ

 電機功率：0.4kw  

 進排氣連接口：KF25

 用油量：1.1L

 電機轉(zhuǎn)速：1440rpm

 工作環(huán)境溫度：5-40℃

 噪音：≤56db

 電阻真空計參數(shù)：

 1.配用規(guī)管：電阻規(guī)

 2.測量范圍： 10⁵ ～10^-1Pa

 3.測量路數(shù)： 1路

 4.控制范圍： 5×10³～5×10^-1Pa，

 5.控制方式：繼電器觸點輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載，

 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

 7.功耗： 20W

使用注意事項