IN USA品牌 Dffoz采用的水中臭氧傳感器技術(shù),設(shè)計(jì)用來(lái)檢測(cè)半導(dǎo)體濕法處理和其他工業(yè)領(lǐng)域高濃度水中臭氧檢測(cè)。它可以為去離子水提供持續(xù)的臭氧測(cè)量,濃度高達(dá)150mg/L。 Dffoz(溶解水中全流量臭氧) 已經(jīng)完成”預(yù)備清潔”,可以應(yīng)用于高純度的半導(dǎo)體過(guò)程,在線安裝,流量高達(dá)150SLPM。
Dffoz傳感器結(jié)合料IN USA公司創(chuàng)新的雙路取樣傳感技術(shù)(獲得),達(dá)到了的性能和消除對(duì)參比氣測(cè)量的需要。
Dffoz典型安裝包括一個(gè)Dffoz傳感器和一個(gè)控制器(Mini-Sci或者SCI-Mux),并通過(guò)7層Teflon線纜連接。
產(chǎn)品特點(diǎn):

n 紫外線吸收技術(shù)
n 雙光路測(cè)量原理
n 在線、全流量測(cè)量
n 無(wú)可移動(dòng)部件
n 半導(dǎo)體級(jí)材料
n 緊湊FRPP外殼
n 一個(gè)控制器可接四個(gè)傳感器

技術(shù)指標(biāo):
傳感器：Dffoz-D
◆ 制造商: IN USA INC(美國(guó))
◆ 應(yīng)用 ：高濃度水中臭氧連續(xù)測(cè)量
◆ 測(cè)量原理 ：紫外吸收技術(shù),雙光路取樣測(cè)量技術(shù)
◆ 紫外線光源：低壓汞燈
◆ 測(cè)量單位 ：PPBw，mg/L
◆ 量程 ： 可達(dá)到150mg/L
◆ 精度：0.5mg/L或讀數(shù)1%（取大者）
◆ 流量：高達(dá)150SLPM
◆ 壓力：55PSI
◆ 接口：1”, 3/4”,1/2, 3/8” “Flaretek” 接口（其它接口可定制）
◆ 外殼：FRPP
◆ 焊接材料：PFA，Teflon，藍(lán)寶石，滿足半導(dǎo)體制程序要
◆ 尺寸：138 X 171 X 82mm
控制器：MiniSCI-N
◆ 20位背光LCD
◆ 分辨率：0.1mg/L或0.1ppm
◆ 循環(huán)時(shí)間：每隔0.5秒持續(xù)測(cè)量
◆ 模擬輸出：4-20mA或0-10VDC
◆ 數(shù)字 I/0：RS-232C
◆ 診斷：內(nèi)部診斷，報(bào)警提示
◆ 遠(yuǎn)程自動(dòng)校零：標(biāo)準(zhǔn)遠(yuǎn)程自動(dòng)校零功能
◆ 供電：90-240VAC 50/60Hz
◆ 尺寸：143X 71X 241mm
◆ 認(rèn)證：CE