設(shè)備簡(jiǎn)介：

怡和興針對(duì)玻璃基板等產(chǎn)品的自動(dòng)化隧道爐，前后可連接自動(dòng)化上下料機(jī)械手，特制支撐傳送鏈條，上下側(cè)都可以空氣流動(dòng)達(dá)到良好的烘烤效果。爐體可以升降打開，便于內(nèi)部碎料清理以及維修。雙層爐體結(jié)構(gòu)，保溫效果好，能耗低。

應(yīng)用范圍：
玻璃基板隧道爐烘烤是一種用于半導(dǎo)體、顯示面板等精密玻璃制品生產(chǎn)的關(guān)鍵工藝，通過(guò)精確控制溫度、時(shí)間和環(huán)境，確保基板去除雜質(zhì)、提高平整度和穩(wěn)定性。玻璃基板通過(guò)傳送帶或輥道系統(tǒng)連續(xù)通過(guò)多個(gè)溫區(qū)，依次完成預(yù)熱、恒溫烘烤和冷卻。
隧道爐分為多個(gè)獨(dú)立溫區(qū)，每個(gè)溫區(qū)可獨(dú)立調(diào)節(jié)溫度（常見范圍：常溫至500℃），溫差控制在±3℃以內(nèi)，避免基板因熱應(yīng)力變形或開裂。

技術(shù)特點(diǎn)：
● 隧道爐分為多個(gè)獨(dú)立溫區(qū)，每個(gè)溫區(qū)可獨(dú)立調(diào)節(jié)溫度，溫差控制在±3℃以內(nèi)，避免基板因熱應(yīng)力變形或開裂；
● 特制傳送帶，保證玻璃基板上下兩面受熱均勻；
● 爐內(nèi)無(wú)塵環(huán)境，具備惰性氣體（如氮?dú)猓┍Ｗo(hù)，防止氧化或污染；
● 烘烤隧道爐同時(shí)具備降溫功能，可避免快速降溫導(dǎo)致基板熱沖擊破裂；
● 爐蓋升降機(jī)構(gòu)便于定期清潔，保養(yǎng)以及維修等需求。