MFM/MFC330/350系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,產(chǎn)品基于毛細管柱熱式原理,主要用于對氣體的質(zhì)量流量進行精確測量和控制。
MFM/MFC330/350系列氣體質(zhì)量流量控制器具有精度高、重復性好、響應速度快、穩(wěn)定性好、工作壓力范圍寬、極低零漂等特點。模擬量和數(shù)字量等多種通訊方式可選,內(nèi)置顯示屏可選,操作配置靈活。
MFC330/350 | ||
閥門 | 常閉式 | |
流量規(guī)格 | 0-2, 10, 20, 100, 300, 500 sccm;0-1, 2, 5, 10, 20, 50 slpm (MFC350可支持更大量程至200slpm,詳詢4008919886) | |
流量測量范圍 | 0.5% - 1 00% F.S. (1:200) | |
流量控制范圍(MFC) | 1% - 1 00% F.S. (1:100) | |
準確度 | ±1% F.S.(MFC330); ±1.0% S.P. (量程≥35% F.S.), ±0.35% F.S.( <35% F.S.) 或 ±0.5% F.S.() (MFC350) | |
重復精度 | ±0.2% F.S. | |
控制響應時間 | ≤5秒(MFC330), ≤1秒(MFC350) | |
工作壓力 | 3 MPa (30bar) | |
工作壓差范圍 | 0 ~ 1 MPa | |
預熱時間 | 5 min (T95), 30分鐘 | |
工作溫度范圍 | -20 ~ 65℃ (環(huán)境和氣體) | |
濕度范圍 | 0 ~ 98% 無凝露 | |
電源 | 15-40 VDC,≤ 5w(MFC330/350), ≤ 1.2w(MFM330/350) | |
通訊方式 | 模擬量: 0-5VDC, 4-20mA 數(shù)字量: Modbus RTU (RS485, RS232) CAN (可選); 以上所有,以及Ethercat,Profibus (MFC350可選) | |
輸入輸出阻抗 | 輸入阻抗>10MΩ, 輸出阻抗<1kΩ | |
密封材料 | 氟橡膠(FKM)全氟醚(FFKM)(可選) | |
安裝方式 | 水平安裝 | |





































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