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4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時間2026-07-20
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)上海
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量177
  • 人氣值2204
產(chǎn)品標簽

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上海繪吉電子科技有限公司主要代理歐、美、日及科學儀器、工業(yè)質(zhì)檢儀器及相關消耗品,專業(yè)涉及高校、新能源、鋼鐵行業(yè)、科研研究及輕工化工、在國內(nèi)特別是華東地區(qū)具有廣泛的客戶基礎和良好的商業(yè)信譽。經(jīng)過幾年的發(fā)展,繪吉公司已經(jīng)在同行業(yè)中確立了多方面的好的地位,無論在公司規(guī)模、人員素質(zhì)、經(jīng)營品種、銷售能力和售后服務等各方面獲得了同行及用戶的廣泛認可。 上海繪吉電子科技有限公司從事分析類儀器(熒光光譜儀,質(zhì)譜儀,粒度儀,真空系列等分析類設備),電池材料制備設備,實驗室儀器,理化分析類儀器,微生物儀器,生理儀器及實驗室耗材。。上海繪吉電子科技有限公司從事分析類儀器(熒光光譜儀,質(zhì)譜儀,粒度儀等分析類設備),德國普發(fā)真空設備,電池材料制備設備,實驗室儀器,理化分析類儀器,微生物儀器,生理儀器及實驗室耗材。上海繪吉-德國普發(fā)真空Pfeiffer Vacuum-作為的真空技術解決方案的供應商之一。我們不僅擁有全系列的混合軸承及全磁懸浮渦輪分子泵, 同時還擁有各種旋片泵,干泵,羅茨泵,氦氣質(zhì)譜檢漏儀,真空規(guī),四級質(zhì)譜儀等產(chǎn)品以及真空管件和綜合真空系統(tǒng)。 從普發(fā)1958年發(fā)明渦輪分子泵至今, 我們在分析、研發(fā)、鍍膜、太陽能、半導體和其他工業(yè)領域,始終代表著創(chuàng)新的解決方案、高品質(zhì)、穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品和的服務。公司自1890年創(chuàng)立至今百余年,現(xiàn)有將近2300名員工,20多家分公司遍布,并且在德國、法國、羅馬尼亞、韓國設有生產(chǎn)制造基地。隨著中國綜合國力的提升,產(chǎn)業(yè)結構升級,以及對節(jié)能減排,科研和高精尖制造工藝的強烈需求,對真空技術的需求也在不斷的提升。作為德國 Pfeiffer Vacuum GmbH 的全資子公司,普發(fā)真空技術上海有限公司 Pfeiffer Vacuum (Shanghai) Co., Ltd. 于 2007 年正式入駐中國上海,標志著普發(fā)真空在中國的業(yè)務已經(jīng)初具規(guī)模,以及公司對中國持續(xù)增長的信心。公司現(xiàn)坐落于上海市浦東新區(qū)世紀公園附近,并且在江蘇無錫建有 4000m2 的售后服務工廠。上海繪吉電子科技有限公司獲得深圳科晶智達科技有限公司一級代理權,科晶為研究新一代可充電電池,超級電容器與快速儲能材料提供最完整的成套解決方案。方案定位于鋰電池的研究市場,主要為大專院校、科研院所以及生產(chǎn)企業(yè)提供實驗室用的小型混壓設備和機械加工與測試等一系列產(chǎn)品,提供研發(fā)環(huán)節(jié)所需的電池能源材料制備相關設備產(chǎn)品與成套實驗室方案:“混料-燒料-分析-涂層-成型-封裝-測試”設備:球磨機、高溫高壓爐、材料分析儀、涂層機、軋機、切片機、封裝機、電池分析儀等。上海繪吉電子科技有限公司成功和進口公司合作。德國普發(fā)真空設備,德國布魯克儀器有限公司,分析儀器有限公司,美國PE公司,美國熱電儀器有限公司,天美科技有限公司,島津,萊卡儀器,日本horriba,梅特勒等進口公司
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4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)
4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

型號:OTF-1200X-50-4CLV-PE 品牌: 科晶


4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng) 核心參數(shù)

  • 升溫速度(達到溫)
    10℃
  • 內(nèi)部尺寸
    外徑: 50 ×內(nèi)徑: 44 ×長: 1000 mm
  • 加熱方式
    電阻絲
  • 功率
    3KW
  • 控溫精度
    ±1℃
  • 溫度
    1200℃
  • 儀器種類
    管式爐


為了使化學反應能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應,因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD), 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。


技術參數(shù)

實驗機理

  • 輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3

  • 電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍

產(chǎn)品特點

  • 雖環(huán)境溫度在100-300℃,但反應氣體在輝光放電等離子體中能受激分解,離解和離化,從而大大提高了反應物的活性。因此,這些具有反應活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上,發(fā)生非平衡的化學反應沉積生成薄膜。

  • 科晶公司提供定制的薄膜材料的實驗室質(zhì)量可靠、價格合理的緊湊型PECVD系統(tǒng)。

  • 下圖顯示的是PECVD法用500W交流等離子體與OTF1200X50、7通道精密質(zhì)量流量計和高真空系統(tǒng)氣體組成

OTF-1200X開啟式管式爐,工作溫度高達1200℃      化學氣相沉積系統(tǒng)的組成圖

開啟式管式爐

  • 工作溫度:1200℃

  • 爐管尺寸:Φ50,Φ60,Φ80都可用

  • 溫度控制器:30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

  • 加熱區(qū)長度:440mm

  • 恒溫區(qū)長度:150mm

  • 功率:AC 220V 4KW

等離子射頻電源

  • 輸出功率:50-500W可調(diào)±1%

  • RF頻率: 13.56MHz,穩(wěn)定性±0.005%

  • 噪聲:≤55DB

  • 冷卻:風冷

  • 輸入功率:1KW  AC 220V

真空泵和閥門

  • 采用KF25系列波紋管和精密針閥連接

  • 真空度可達10-3torr

  • 本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5至 1125Torr.不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。(點擊圖片查看詳細介紹)

質(zhì)量流量計

  • 內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計可準確的控制氣體流量

  • 氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%

  • 一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥

  • 不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入

  • 進氣口:采用國際標準雙卡套接頭

細節(jié)圖展示


外形尺寸

  • 爐體:550*380*520mm

  • 供氣及真空系統(tǒng):600*600*597mm

  • 凈重:120KG

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期相關耗材除外,如加熱元件,密封圈等易耗件

質(zhì)量認證

  • CE認證

  • 所有電器元件(>24V)都通過UL?/?MET?/?CSA認證

  • 若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證

國家

名稱:可組合式等離子增強化學氣相沉積裝置

編號:ZL-2011-2-0355777.1

尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權必究

使用注意事項:
  • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

  • 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

  • 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)

  • 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

  • 石英管的長時間使用溫度<1100℃

  • 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)



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