可用等離子清洗殘留有機(jī)物,降低場域變化,可承受溫度>1000℃用于高溫下觀察環(huán)境透射電鏡,可承受惡劣的沉積&化學(xué)條件在成像分辨率和機(jī)械強度上提供理想的平衡,采用低壓CVD,低應(yīng)力,提供平整、絕緣、疏水性的平面。

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