可用等離子清洗殘留有機(jī)物，降低場域變化，可承受溫度>1000℃用于高溫下觀察環(huán)境透射電鏡，可承受惡劣的沉積&化學(xué)條件在成像分辨率和機(jī)械強度上提供理想的平衡，采用低壓CVD，低應(yīng)力，提供平整、絕緣、疏水性的平面。
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