本款熱式氣體質量流量計用于精確的測量氣體的流量，具有不因溫度或壓力的波動而失準、重復性好、自動測量、工作壓力范圍寬，可以在真空或高壓氣路中工作，大流量分流器不易堵塞等特點。質量流量計(FFM)／質量流量控制器(FFC)用于精密地測量或控制氣體的質量流量， 熱式氣體質量流量計的流量傳感器是熱式質量流量傳感器。 熱式氣體質量流量計由傳感器、分流器、主通道及電路板等部分組成，用于測量流量；MFC除了具有與MFM類似的各部件之外，還有一個控制閥門及PID控制電路，它不但能測量流量，還能控制流量。 
   

      熱式氣體質量流量計的氣體通道的材料為316L不銹鋼，密封材料可選橡膠或金屬材料等。 熱式氣體質量流量計原則上可以使用任何氣體，包括腐蝕性氣體，不過要注意恰當選擇產(chǎn)品型號和密封材料。 模擬流量計產(chǎn)品的流量輸入輸出信號是0~+5V電壓信號，個別產(chǎn)品是4~20mA電流信號，對應于流量的0~滿量程。數(shù)字模擬兼容的流量計產(chǎn)品的流量輸入輸出信號，除了有0~+5V模擬信號外，還具有RS232 / RS485計算機串行通訊信號。全數(shù)字化流量計產(chǎn)品通常采用現(xiàn)場總線通訊方式。 
     

      熱式氣體質量流量計測得的質量流量等同于標準狀態(tài)下的體積流量，其質量流量單位表示為SCCM (每分鐘標準毫升) 或SLM (每分鐘標準升)。標準狀態(tài)指壓力為一個大氣壓(101325Pa)、溫度為0oC。 產(chǎn)品出廠時一般用氮氣標定。用戶使用其它氣體時，可以用說明書中提供的氣體轉換系數(shù)進行讀數(shù)修正，或提出根據(jù)使用氣體進行轉換標定，如果可行的話，也可以要求我公司以實際使用的氣體進行標定。 SONIC系列流量顯示儀可以和質量流量計/質量流量控制器配合使用，由前者提供工作電源和進行流量顯示。

【性能特點】
●量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM
●準確度：±1%F.S
●線性度：±0.5～1% F.S
●重復精度：±0.2% F.S
●響應時間：10S
●氣壓降： <0.01MP
●壓力：10MP
●工作環(huán)境溫度： 5～45℃ 
●輸出信號：0～+5.00V 
●電源：+15V 50mA -15V 200mA 
●外形尺寸：158.7*60*198，161.7*60*198可選 
●重量：2.5 Kg 
●防爆等級：Exd II BT6