可變形反射鏡

Mini-DM

自適應(yīng)光學(xué)：

的波前控制以MEMS變形鏡產(chǎn)生更高的對比度，高分辨率成像。波陣面成形是通過矯正高階像差引起的光學(xué)限制，大氣湍流，組織不均勻性。BMC的MEMS變形鏡提供的調(diào)整和控制，大大提高成像精度。

DM Selection Chart

Mini- 1.5 Mini- 3.5 Mini- 5.5 Mini-SLM Stroke 1.5 µm 3.5 µm 5.5 µm 1.5 µm Aperture 1.5 mm 2.0 mm 2.25 mm 1.8 mm Pitch 300 µm 400 µm 450 µm 300 µm MechanicalResponse (10%-90%) <20 μs <100 μs <500 μs <40 μs Approx. Interactuator Coupling 15% 13% 22% 0%

DM 規(guī)格：

·32個致動器(6×6數(shù)組4角沒有)

·涂料:鋁、金或銀的保護(hù)

·保護(hù)窗口350 - 700 nm,400 - 1100 nm,650 - 1050或1050 - 1700 nm AR

·零滯后現(xiàn)象

·Sub-nm平均步長

·填充系數(shù)> 99%(DM)，98%(SLM)

·表面光潔度:< 30 nm RMS

驅(qū)動規(guī)格：

·驅(qū)動和控制通過USB 2.0接口

·14位步分辨率

·幀率:8 kHz， 34 kHz破裂

·尺寸:4“×5.25“×1.2”

軟件規(guī)格：

·Windows XP / 7,Linux操作系統(tǒng)兼容

·包括基本操作軟件

·C / C++,Matlab和虛擬儀器驅(qū)動程序包括在內(nèi)

·Linux驅(qū)動程序可用

·虛擬儀器測試軟件

Multi-DM

DM Selection Chart

Multi- 1.5 Multi- 3.5 Multi- 5.5 Multi- SLM Stroke 1.5 µm 3.5 µm 5.5 µm 1.5 µm Aperture 3.3 mm 4.4 mm 4.95 mm 3.6 mm Pitch 300 µm 400 µm 450 µm 300 µm Mechanical Response (10%-90%) <60 μs <100 μs <500 μs <40 μs Approx. Interactuator Coupling 15% 13% 22% 0%

DM 規(guī)格：

·140 致動器(12×12數(shù)組4角沒有)

·涂料:鋁、金或白銀的保護(hù)

·防護(hù)窗350 - 700 nm,650 - 1050或1050 - 1700 nm AR涂層

·零滯后現(xiàn)象

·Sub-nm平均步長

·填充系數(shù)> 99%(DM),98%(SLM)

·表面光潔度:< 30 nm RMS

驅(qū)動規(guī)格：

·USB 2.0接口

·120 - 240 VAC輸入

·14位步分辨率

·幀率:8 kHz ，34 kHz破裂

·尺寸:9“×7“×2.5”

492-DM

MEMS變形反射鏡

MEMS變形鏡目前在許多AO應(yīng)用鑒于其多功能性，技術(shù)的成熟，和他們的高分辨率波前校正功能。使用的，廉價的制造技術(shù)，MEMS DMs性能優(yōu)勢是微加工:

1. 巨大的致動器陣列創(chuàng)造高分辨率波前校正

2. 的微觀結(jié)構(gòu)允許最小影響相鄰驅(qū)動器對高空間頻率的表面

3. 優(yōu)化設(shè)計使快速波陣面形成為高速應(yīng)用

DM 規(guī)格：

·連續(xù)(DM)或分段(SLM)表面

·492致動器（24通過一個圓形的孔徑）

·涂料:鋁、黃金或銀的保護(hù)

·防護(hù)窗400 - 1100 nm,1550nm或550 - 2400 nm AR涂層

·零磁滯

·填充系數(shù)> 99%(DM),98%(SLM)

·Sub-nm平均步長

·表面光潔度:< 30 nm RMS

·Stroke: 1.5 μm, 3.5 μm

·孔徑6.9毫米,9.2毫米

·Pitch:300μm，400μm

·約.機(jī)械響應(yīng)時間 (10% - -90%):< 20μs

·約.Interactuator耦合(±5%):15%

驅(qū)動規(guī)格：

·DIO 接口:SFP光纖連接通過PCIe接口Card

·14位步分辨率

·幀率:34千赫/ 60 kHz(低延遲)

·響應(yīng)時間:30μs / 17μs(低延遲)

·能耗:< 40 W

·尺寸:5.25×14“×19(3 U底架)

Kilo-S-DM

Kilo-S-DM 規(guī)格：

·連續(xù)(DM)或分段(SLM)表面

·32致動器在平方有效孔徑(1020合計)或34致動器在一個圓形有效孔徑(952合計)

·Stroke:600nm

·涂料:鋁、金或銀的保護(hù)

·保護(hù)窗口，“AR”涂層

·零磁滯

·填充系數(shù)> 99%(DM),98%(SLM)

·Sub-nm平均步長

·表面光潔度:< 20 nm RMS

S-Driver 規(guī)格：

·DIO接口:SFP光纖連接(2.5 Gbps)通過PCIe card

·延遲:22.7µs

·幀率:60 kHz

·分辨率:12位

·平均電壓步長:14 mV

·尺寸:3.5×14“×19(3U底座為19“機(jī)架)

Kilo-SLM性能測試

Maximum update rates

Small displacement: >50 kHz Mid-range displacement: >20 kHz Full-range displacement: >10 kHz

線陣列 DM

DM規(guī)格：

·96x1或48 x2致動器

·長度:28毫米/ 12毫米

·寬度:1.8毫米/ 800μm

·零磁滯

·Sub-nm平均步長

·填充系數(shù)> 99%(DM),98%(SLM)

驅(qū)動規(guī)格：

·USB 2.0接口

·14位步分辨率

·幀率(延遲):8 kHz(125µs)，34KHz(32µs)破裂

·尺寸:9“×7“×2.5”