Pα-1L精密氣體減壓器。單級(jí)膜片式設(shè)計(jì);低壓輸入,低壓標(biāo)準(zhǔn)流量輸出,輸出壓力穩(wěn)定;適用于半導(dǎo)體高純氣體、低濃度毒性、低濃度腐蝕性、易燃易爆氣體等。標(biāo)準(zhǔn)流量20L/min。
工作條件:
| 進(jìn)口壓力 | 2MPa |
| 出口壓力 | 0~0.99MPa |
| CV值 | 0.06 |
| 爆破壓力 | 30MPa |
| 原壓變動(dòng) | 0.0004MPa (入口壓力變化0.1MPa時(shí),出口壓力的變化量) |
| 溫度 | -10~+70℃ |
| 外漏率 | ≤1×10-9Pa.M3/Sec.He |
| 安裝方式 | 前面板安裝,后面板安裝 |
主要部件材料:
柔性膜片結(jié)構(gòu),手柄特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),調(diào)節(jié)順暢,輸出壓力精密到0.001MPa.流量損失小
單級(jí)式減壓,死體積小,便于吹掃
進(jìn)口出口可以加裝其他附件
主要部件電解拋光處理,增加腐蝕性
內(nèi)置精密過濾器,保證氣體潔凈
超純水清洗
主要部件材料:
| 零部件名稱 | Part | 材料(Materials) |
| 后蓋 | Bonnet | SUS316 |
| 閥體 | Body | SUS316L |
| 閥針 | Poppet | SUS316L |
| 膜片 | Diaphragm | SUS316L |
| 密封墊 | Seat | PTFE、PCTFE或PEEK |



































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