Pα-2H 精密氣體減壓器。雙級膜片式設計；高壓輸入，低壓標準流量輸出，輸出壓力穩(wěn)定；

適用于半導體級高純氣體、低濃度毒性、低濃度腐蝕性、易燃易爆氣體等。
 

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ORDERING INFORMATION

FLOW CHARACTERISTICS

流量曲線圖

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SPECIFICATIONS

工作條件

安裝圖

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OUTLINE  DRAWING

上圖是Pα-2H氣體減壓器安裝圖

細節(jié)展示

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FEATURE  HIGHTLIGHT

柔性膜片結(jié)構(gòu)，手柄特殊結(jié)構(gòu)設計，調(diào)節(jié)順暢
雙級式減壓，死體積小，便于吹掃
進口出口可以加裝其他附件
主要部件電解拋光處理，增加耐腐蝕性
內(nèi)置精密過濾器，保證氣體潔凈

產(chǎn)品特點

主要部件材料

全部氦質(zhì)譜測漏

外漏率低于1.0×10-10Pa.M3/sec.He

超長使用壽命(高壓型3萬次試驗值)

                     (低壓型50萬次試驗值)

FLOW CHARACTERISTICS

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主要部件材料