| 產(chǎn)品介紹 | |
| Xα-1L氣體減壓器。單級膜片式設(shè)計,硬密封結(jié)構(gòu),內(nèi)部電解拋光處理;低壓輸入,低壓標(biāo)準(zhǔn)流量輸出,輸出壓力穩(wěn) 定;適用于半導(dǎo)體級高純氣體、毒 性、腐 蝕性、易燃易爆氣體等。 | |
| 主要部件材料 | |
| 閥體 | 316L/316L(VIM+VAR) |
| 膜片 | UNS N06022 |
| 閥針 | 316L / UNS N10276 |
| 密封墊 | PCTFE / PI |
| 手柄 | ABS |
| 閥蓋 | 316L |
| 工作條件 | |
| 進口壓力 | 300psig |
| 出口壓力 | 30,60,100,150psig |
| 原壓變動 | 1.6psig / 100psig |
| 工作溫度 | -10 ~ 60℃ |
| 內(nèi)漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 外漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 流量系數(shù) | 0.24 |
| 內(nèi)表面粗糙度 | Ra ≤ 0.1μm |
| 產(chǎn)品特點 | |
| 適用于VMB、VMP | |
| 提供 UNS N06022/UNS N10276 內(nèi)部件選項 | |
| 每臺減壓器進行單獨的壓力測試、功能測試、氦質(zhì)譜泄漏測試和顆粒物檢測 | |
| 膜片與閥體之間采用金屬對金屬密封設(shè)計,密封性能 | |




































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